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LCL-4A 橢圓偏振測厚儀

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儀器簡介:手動(dòng)橢圓偏振測厚儀使用消光法測量薄膜厚度和折射率;手動(dòng)調(diào)節(jié)測試過程中的起偏和檢偏角度

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儀器簡介:

    手動(dòng)橢圓偏振測厚儀使用消光法測量薄膜厚度和折射率;手動(dòng)調(diào)節(jié)測試過程中的起偏和檢偏角度。橢圓偏振法廣泛地應(yīng)用于固體基片上介質(zhì)薄膜的測量。在己有測定薄膜厚度的方法中,它是能測量到和精度的一類。



實(shí)驗(yàn)內(nèi)容:

1、了解并熟悉儀器的工作原理和性能

2、掌握如何利用設(shè)備測試樣品的方法



主要配置和參數(shù):

序號(hào)

名稱

規(guī)格和參數(shù)

1

測量范圍

1nm-300nm

2

測量最小值

≤1nm

3

入射角

30°-90°誤差≤0.1°

4

偏振器方位角讀數(shù)范圍

0°-180°

5

度盤刻度

每格2度

6

游標(biāo)最小讀數(shù)

0.05°

7

光學(xué)中心高度

152mm

8

工作臺(tái)直徑

Φ70mm

9

外形尺寸

730mm*230mm*290mm

10

主機(jī)重量

20kg







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