高溫超納米壓痕測(cè)試儀 (UNHT3 HTV)一臺(tái)真正意義的商品化的高溫高真空超納米壓痕儀，主要測(cè)量小載荷下納米尺度機(jī)械性能的測(cè)試系統(tǒng)，溫度在 800 C 以下的薄膜和涂層的硬度和彈性模量。

高溫超納米壓痕測(cè)試儀 (UNHT3 HTV)

一臺(tái)真正意義的商品化的高溫高真空超納米壓痕儀，主要測(cè)量小載荷下納米尺度機(jī)械性能的測(cè)試系統(tǒng)，溫度在 800 °C 以下的薄膜和涂層的硬度和彈性模量。 UNHT³ 技術(shù)與的加熱功能結(jié)合，可提供在任何溫度下的高穩(wěn)定性測(cè)量解決方案。

主要特點(diǎn) 新一代的高溫納米壓痕測(cè)試儀

• 環(huán)境條件下熱漂移 (< 0.5 nm/min) 和整個(gè)溫度范圍內(nèi)熱漂移 (< 3 nm/min)。

• 載荷框架剛度 (>>106 N/m) 和框架柔度 (<<0.1 nm/mN)：兩套獨(dú)立的位移和載荷傳感器與高精度電容傳感器結(jié)合，可選擇“控制位移”和“載荷控制”模式。

• 高真空系統(tǒng)具有 5 軸磁懸浮渦輪泵和緩沖系統(tǒng)，允許在測(cè)量期間關(guān)閉初級(jí)泵，使振動(dòng)降至。

• 的加熱控制系統(tǒng)（3 項(xiàng)待批），采用3 個(gè)紅外 (IR) 加熱器分別用于給壓痕針尖、參比針尖和樣品進(jìn)行加熱，以及 4 個(gè)熱電偶用于將樣品表面溫度控制到 變化在0.1°C 內(nèi)。

• 符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)

技術(shù)指標(biāo)