AUTOSAMDRI-815/815B Series B 系列CPD
全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
該系列為臺(tái)式全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀，可在超凈間工作，有2個(gè)型號(hào)可選：
1）AUTOSAMDRI-815 Series B，用于1"的晶圓超臨界干燥
2）AUTOSAMDRI-815B Series B，用于不超過(guò)4"的晶圓超臨界干燥
臨界點(diǎn)干燥原理
之所以稱為臨界點(diǎn)干燥（又稱超臨界干燥），因?yàn)樗嬖跔顟B(tài)的連續(xù)性，即介質(zhì)在液態(tài)和氣態(tài)之間無(wú)明顯的區(qū)別，分界面的表面應(yīng)力降到零。這種現(xiàn)象具有特定的溫度和壓力，被稱為臨界點(diǎn)。零表面應(yīng)力這種條件可用于干燥生物樣品或含水材料樣品，避免了表面應(yīng)力對(duì)試樣的損壞。
我們?cè)陔娮语@微鏡(掃描電鏡透射電鏡)的生物樣品或含水材料樣品制備時(shí)經(jīng)常需要進(jìn)行脫水處理（梯度脫水），但水的臨界點(diǎn)為+374℃及3212 psi，很不方便并且容易損壞試樣。通常也是非常方便的臨界點(diǎn)干燥介質(zhì)為CO2，它的臨界點(diǎn)在+31℃及1072 psi。然而它不容易與水混合，因而必須用第三種介質(zhì)，通常用乙醇或丙酮作為中間液體。這樣在把過(guò)渡液體，即CO2 從液體轉(zhuǎn)為氣體時(shí)，在臨界點(diǎn)無(wú)表面應(yīng)力對(duì)樣品的破壞。
特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)
? 通過(guò)微處理控制器來(lái)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)處理過(guò)程；防靜電設(shè)計(jì)，適合潔凈室材料制造應(yīng)用
? LED指示，使每一個(gè)程序模式的操作一目了然
? 通過(guò)微計(jì)量閥實(shí)現(xiàn)精確控制流量，支持可重復(fù)的精確流量設(shè)置。
? 便捷的頂裝式工作腔室，帶可視窗口，可觀察腔室內(nèi)部狀態(tài)
? 配有過(guò)濾裝置，保護(hù)樣品和閥門。內(nèi)部過(guò)濾可將過(guò)濾后的液態(tài)CO2直接輸送至工作腔室， 顆粒過(guò)濾低至0.08µm，截留率為99.999%以上
? 內(nèi)表面材質(zhì)耐用于液態(tài)CO2、超純乙醇和丙酮環(huán)境
? 自動(dòng)臨界點(diǎn)溫度-壓力調(diào)節(jié)，確保系統(tǒng)安全；預(yù)設(shè)靜態(tài)壓力控制模塊，自動(dòng)控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性
? 快速冷卻腔室，3分鐘內(nèi)將腔室從室溫降低至接近0℃（815B可在FILL和PURGE模式下自動(dòng)保持溫度）
? 對(duì)于815B型，標(biāo)配填充塊，可將腔室內(nèi)徑減小到3"、2"或1.25"，可減少CO2浪費(fèi)，使液態(tài)CO2的使用大化
? 每次運(yùn)行可以處理5 x 4"，5 x 3", 5 x 2"，5 x 1"直徑的晶圓或者5 x 10mm方晶(提供可以兼容HF的晶圓/方晶樣品架，方便運(yùn)輸和處理晶圓和方晶)
? 內(nèi)置冷凝器，分離廢棄乙醇和二氧化碳，消除任何管路凍結(jié)或機(jī)體靜電，整個(gè)過(guò)程無(wú)噪聲
主要技術(shù)指標(biāo)
? 工作腔室直徑：1.25"I.D.@815 Series B；4.5"I.D.@815B Series B
? 壓力測(cè)量范圍：0-2000psi.
? 溫度測(cè)量范圍：-30°C to 60°C
? 操控方式：全自動(dòng)按鍵操控
常規(guī)配置
? 柔性編織不銹鋼耐高壓管，用于輸送液態(tài)CO2
? 對(duì)于815B型，配有3個(gè)腔室填充塊，可將腔室內(nèi)徑減小到 3"、2"或 1.25"
? 外部液態(tài)CO2過(guò)濾系統(tǒng)(#8784)，可去除水/油以及小顆粒
? 防靜電排氣管，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時(shí)的排氣
? 備用樣品腔室O形密封圏、腔室照明燈和保險(xiǎn)絲
注：美國(guó)Tousimis產(chǎn)品已有近50年的歷史，在中國(guó)客戶中的口碑非常好。覃思科技是其CPD超臨界干燥儀中國(guó)區(qū)代理。Tousimis臨界點(diǎn)干燥儀產(chǎn)品分為非潔凈室版本和潔凈室版本兩大類，前者常用于電鏡制樣，后者多用于超凈間內(nèi)的材料研究用途；
非潔凈室版本共有7款CPD：
1）Samdri®-PVT-3D常規(guī)臨界點(diǎn)干燥儀
2）Samdri®-795半自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
3）Autosamdri®-815 Series A全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
4）Autosamdri®-815B Series A全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
5）Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
6）Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
7）Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
潔凈室版本共有9款CPD：
1）Autosamdri®-815 Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For Die & 1”Wafers
2）Autosamdri®-815B Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For 4”Wafers
3）Automegasamdri®-915B, Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For 6”Wafers
4）Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動(dòng)多用途臨界點(diǎn)干燥儀
5）Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動(dòng)多用途臨界點(diǎn)干燥儀
6）Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏多用途全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
7）Autosamdri®-934觸摸屏C系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For 4”Wafers
8）Automegasamdri®-936觸摸屏C系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For 6”Wafers
9）Automegasamdri®-938觸摸屏C系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For 8”Wafers
美國(guó)Tousimis超臨界干燥儀廣泛適用于生物樣品，凝膠等具有微納米3D結(jié)構(gòu)的脆弱復(fù)雜樣品，以及MEMS、MOF、碳納米管、石墨烯、半導(dǎo)體晶圓（樣品尺寸8英寸，一次同時(shí)干燥5片）等材料類樣品的臨界點(diǎn)干燥。利用CO2臨界點(diǎn)狀態(tài)無(wú)液相表面張力引起樣品皺縮變形的原理獲取具有真實(shí)形貌的干燥樣品，是含水或其它液體的細(xì)胞組織等生物樣品、半導(dǎo)體等材料樣品干燥制樣的有效方法；具有操作簡(jiǎn)便、控制精確、結(jié)果可重復(fù)等特點(diǎn)?？蛻艨苫诓煌膽?yīng)用選擇不同的型號(hào)。
