美國Tousimis AUTOSAMDRI-915B Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
臨界點(diǎn)干燥原理
之所以稱為臨界點(diǎn)干燥（又稱超臨界干燥），因?yàn)樗嬖跔顟B(tài)的連續(xù)性，即介質(zhì)在液態(tài)和氣態(tài)之間無明顯的區(qū)別，分界面的表面應(yīng)力降到零。這種現(xiàn)象具有特定的溫度和壓力，被稱為臨界點(diǎn)。零表面應(yīng)力這種條件可用于干燥生物樣品或含水材料樣品，避免了表面應(yīng)力對試樣的損壞。
我們在電子顯微鏡(掃描電鏡透射電鏡)的生物樣品或含水材料樣品制備時(shí)經(jīng)常需要進(jìn)行脫水處理（梯度脫水），但水的臨界點(diǎn)為+374℃及3212 psi，很不方便并且容易損壞試樣。通常也是非常方便的臨界點(diǎn)干燥介質(zhì)為CO2，它的臨界點(diǎn)在+31℃及1072 psi。然而它不容易與水混合，因而必須用第三種介質(zhì)，通常用乙醇或丙酮作為中間液體。這樣在把過渡液體，即CO2 從液體轉(zhuǎn)為氣體時(shí)，在臨界點(diǎn)無表面應(yīng)力對樣品的破壞。
特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)
? 防靜電設(shè)計(jì)，適合潔凈室材料制造應(yīng)用；通過微處理控制器來實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)處理過程
? 所有內(nèi)表面材質(zhì)耐用于液態(tài)二氧化碳、超純乙醇和丙酮環(huán)境
? 可重復(fù)設(shè)定操作參數(shù)確保結(jié)果的可重復(fù)性
? LED指示，使每一個(gè)程序模式的操作一目了然；集成溫度控制系統(tǒng)
? 帶可視窗口，便于操作者觀察腔室內(nèi)部狀態(tài)
? 0.08μm內(nèi)部過濾系統(tǒng)輸送潔凈過濾后的液態(tài)CO2到腔室
? 預(yù)設(shè)靜態(tài)壓力控制模塊，自動(dòng)控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性；內(nèi)置圓盤裂片保證安全
? 的腔室填充塊可以改變成多種腔室內(nèi)徑，使液態(tài)CO2的使用效率和處理時(shí)間達(dá)到化
? 每次運(yùn)行可處理5 x 6"直徑的晶圓，也可一次處理或 5 x 4"、 5 x 3"、5 x 2"直徑的晶圓或者 5 x 10mm 方形裸片 (提供可以兼容HF的晶圓/方形裸片樣品架，方便運(yùn)輸和處理晶圓和方形裸片)
? 高效冷卻系統(tǒng) 可以在3分鐘內(nèi)把腔室從室溫冷卻到到接近0 °C，并在FILL和PURGE模式下自動(dòng)保持溫度
? 內(nèi)置SOTER™ 冷凝器，分離廢棄乙醇和二氧化碳，消除任何管路凍結(jié)或機(jī)體靜電，整個(gè)過程無噪聲
主要技術(shù)指標(biāo)
? 工作腔室直徑：6.5" I.D.
? 壓力測量范圍：0-2000psi.
? 溫度測量范圍：-30°C to 60°C
? 操控方式：全自動(dòng)按鍵操控
常規(guī)配置
? 柔性編織不銹鋼耐高壓管，用于輸送液態(tài)CO2
? 對于外部鋼瓶供應(yīng)的液態(tài)CO2，采用雙T型過濾器進(jìn)行顆粒過濾，截留率為99.5%以上
? 配備耐氟樣品架，可選不同腔室充填塊分別用于干燥直徑為6"、4"、3"、2"的晶圓支架和10mm的方形裸片支架，每個(gè)支架可最多容納5個(gè)晶圓或方形裸片；配3個(gè)腔室填充塊，使原腔室內(nèi)徑可減小到6"、4"、3"、2"和 1.25”更小的腔室
? 備用腔室O型環(huán)密封圈，LED腔室燈和保險(xiǎn)絲
注：美國Tousimis產(chǎn)品已有近50年的歷史，在中國客戶中的口碑非常好。覃思科技是其CPD超臨界干燥儀中國區(qū)代理。Tousimis臨界點(diǎn)干燥儀產(chǎn)品分為非潔凈室版本和潔凈室版本兩大類，前者常用于電鏡制樣，后者多用于超凈間內(nèi)的材料研究用途；
非潔凈室版本共有7款CPD：
1）Samdri®-PVT-3D常規(guī)臨界點(diǎn)干燥儀
2）Samdri®-795半自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
3）Autosamdri®-815 Series A全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
4）Autosamdri®-815B Series A全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
5）Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
6）Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
7）Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
潔凈室版本共有9款CPD：
1）Autosamdri®-815 Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For Die & 1”Wafers
2）Autosamdri®-815B Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For 4”Wafers
3）Automegasamdri®-915B, Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For 6”Wafers
4）Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動(dòng)多用途臨界點(diǎn)干燥儀
5）Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動(dòng)多用途臨界點(diǎn)干燥儀
6）Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏多用途全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
7）Autosamdri®-934觸摸屏C系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For 4”Wafers
8）Automegasamdri®-936觸摸屏C系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For 6”Wafers
9）Automegasamdri®-938觸摸屏C系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For 8”Wafers
美國Tousimis超臨界干燥儀廣泛適用于生物樣品，凝膠等具有微納米3D結(jié)構(gòu)的脆弱復(fù)雜樣品，以及MEMS、MOF、碳納米管、石墨烯、半導(dǎo)體晶圓（樣品尺寸8英寸，一次同時(shí)干燥5片）等材料類樣品的臨界點(diǎn)干燥。利用CO2臨界點(diǎn)狀態(tài)無液相表面張力引起樣品皺縮變形的原理獲取具有真實(shí)形貌的干燥樣品，是含水或其它液體的細(xì)胞組織等生物樣品、半導(dǎo)體等材料樣品干燥制樣的有效方法；具有操作簡便、控制精確、結(jié)果可重復(fù)等特點(diǎn)。其中，經(jīng)典的SAMDRI®-PVT-3D和屢獲殊榮的Autosamdri®-931高級觸摸屏全自動(dòng)CPD等型號(hào)尤其令人矚目。客戶可基于不同的應(yīng)用選擇不同的型號(hào)。
