KSI 品牌是由德國的 Klaus Kraemer 博士所創(chuàng)立，Klaus Kraemer 博士是是歐洲聲學(xué)顯微技術(shù)的，從 1984 年開始一直到現(xiàn)在，近 30 年來，不斷推進(jìn)高分辨 聲學(xué)檢測技術(shù)的創(chuàng)新，為半導(dǎo)體、復(fù)合材料、生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，提供聲學(xué)檢測裝備和訂制化的技術(shù)解決方案。Klaus Kraemer 博士本人則堪稱歐洲高分 辨聲學(xué)檢測技術(shù)歷史的活化石。

      KSI 公司一直專注于聲學(xué)顯微基礎(chǔ)技術(shù)的研究與開發(fā)，目標(biāo)是朝更高精度、更高分辨率、更大的產(chǎn)能、設(shè)備更加、更加耐用方向發(fā)展。這也非常符合德國 人作風(fēng)，專注、專業(yè)、一輩子只做好一件事。 2009 年開發(fā)的 FCT 低噪探頭技術(shù)，能極大地壓制探頭在水中運(yùn)動(dòng)掃描時(shí)所產(chǎn)生的水花，顯著提高聲學(xué)圖像的品質(zhì)，并使設(shè)備能夠持續(xù)在高速狀態(tài)下進(jìn)行工作， 而不會由于巨大的水花而導(dǎo)致對測試結(jié)果的誤判。 近年來推出的全新一代 v 系列聲學(xué)顯微系統(tǒng)，靈敏度可以達(dá)到 0.3 微米。在噪聲控制、弱信號處理技術(shù)更上一個(gè)新臺階，不需要外置濾波器即可對晶 圓級的缺陷進(jìn)行高分辨檢測，既讓圖像更清晰，又不遺漏微缺陷。這也是 Ksi 公司多年專注于超聲基礎(chǔ)技術(shù)研發(fā)的基礎(chǔ)上取得的進(jìn)展。

• 掃描范圍適中：300mm x 300mm；

• 磁懸浮超高速機(jī)型；

• 掃描速度：2米/秒；

• 掃描加速度：30米/秒；

• KSI一臺機(jī)器相當(dāng)于常規(guī)機(jī)器2臺的工作量。(常規(guī)機(jī)器小于1米/秒)；

• 高掃描重復(fù)精度：+/-0.1微米（常規(guī)機(jī)器只能做到0.5微米）；

• 低噪防誤判探頭（常規(guī)機(jī)器沒有，無法在高速掃描時(shí)去除水花導(dǎo)致的誤判）。

一、掃描機(jī)械機(jī)構(gòu) 

(1) X、Y軸都是由高精度磁懸浮直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)

(2) X、Y軸一次掃描行程范圍：300mm×300mm（上限可以做到305mm x 305mm）

(3) X、Y軸一次最小掃描行程范圍：0.2mm×0.2mm

(4) 掃描速率：2000mm/s，掃描加速度30m/s2

(5) X、Y軸掃描重復(fù)精度±0.1um

(6) Z軸是高精度自鎖步進(jìn)電機(jī)，行程：100mm

(7) Z軸電機(jī)重復(fù)精度：± 0.25μm

二、 掃描模式

(1) 點(diǎn)波形(A-Scan)

(2) 縱剖掃描(B-Scan)

(3) 橫剖掃描(C-Scan)

(4) 斜剖掃描（D-Scan）

(5) 等間隔多層橫剖掃描(X-Scan)

(6) 自定義多層橫剖掃描，可獨(dú)立設(shè)置不同層面的厚度等參數(shù)

(7) 透射掃描

(8) 順序掃描、托盤掃描、高質(zhì)量掃描、表面跟蹤掃描、全息掃描（實(shí)體掃描）

(9) 其它 

三、 脈沖信號收發(fā)器和換能器

(1) 掃描工作模式：單通道工作模式

(2) 脈沖信號收發(fā)器帶寬：5MHz～550MHz

(3) 總增益：150dB 

四、 主要功能

(1) 測試被測工件內(nèi)部缺陷，如空洞、分層、裂縫、異物等；

(2) 掃描圖像模板功能，輕松獲得參數(shù)一致的聲學(xué)顯微圖像；

五、 其它指標(biāo)

(1) 保存圖像格式：JPG、BMP、SAM(sam是原廠圖像格式)；

(2) 圖像采樣像素：32000×32000像素 ，可以自定義輸入圖像分辨率或單個(gè)像素尺寸，由設(shè)備自動(dòng)計(jì)算所用的圖像分辨率。