安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺(tái)：尺寸600mm×600mm×700mm，承重100kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

技術(shù)參數(shù)

1、電源：AC220V 1.2KW

2、石英管：外徑?25mm，內(nèi)徑?20mm，長(zhǎng)450mm

                    外徑?50mm，內(nèi)徑?43mm，長(zhǎng)450mm

3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯

4、加熱區(qū)域：200mm

5、工作溫度：最高1200℃（<1h），連續(xù)工作1100℃

6、最大升降溫速率：10℃/min

7、控溫精度：±1℃

8、真空度：10-2torr（機(jī)械泵）

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：750mm×300mm×400mm；重量：18kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

氧化鋁管堵

2套

2

不銹鋼法蘭

1套

可選配件

1、石英管堵

2、波紋管

3、數(shù)字真空計(jì)

4、KF25轉(zhuǎn)換接頭

5、卡套接頭（?6.35mm，可使?fàn)t管內(nèi)獲得微正壓）