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Huace-6 中端探針臺(tái)

參考價(jià) 75000
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Huace-6 中端探針臺(tái)可兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動(dòng) ;

可升級(jí)做射頻,大電流方面的測(cè)試和激光修復(fù)應(yīng)用

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Huace-6 中端探針臺(tái)


產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu),測(cè)試人員把需要量測(cè)的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動(dòng)器件,找到需要探測(cè)的位置。接下來(lái)測(cè)試人員通過(guò)旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),精準(zhǔn)扎到被測(cè)點(diǎn),從而使其訊號(hào)線與外部測(cè)試機(jī)導(dǎo)通,通過(guò)測(cè)試機(jī)測(cè)試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。


產(chǎn)品特點(diǎn)及應(yīng)用:

◆ 滿足I-V/C-V,PIV測(cè)試,光電測(cè)試等;

◆ 可用于8英寸以?xún)?nèi)樣品測(cè)試;

◆ 同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu),線性移動(dòng);

◆ 兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動(dòng);

◆ 可升級(jí)做射頻,大電流方面的測(cè)試和激光修復(fù)應(yīng)用;


技術(shù)參數(shù)

臺(tái)體規(guī)格

尺寸

4英寸/6英寸/8英寸

水平旋轉(zhuǎn)

可360°旋轉(zhuǎn),可微調(diào)15°,精度0.1°,帶角度鎖死裝置

X-Y移動(dòng)行程

4英寸×4英寸/6英寸×6英寸

X-Y移動(dòng)精度

10μm/1μm

樣品臺(tái)Z軸調(diào)節(jié)

可升降10mm

樣品固定

真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環(huán)

針座平臺(tái)

U型針座平臺(tái),zuiduo可放置6個(gè)探針座

背電極測(cè)試

樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空,4mm插孔可接背電極

外形尺寸

400mm長(zhǎng)*400mm寬*600mm高/580mm長(zhǎng)*480mm寬*600mm高

設(shè)備重量

約20KG


光學(xué)系統(tǒng)

顯微鏡類(lèi)型

單筒顯微鏡/體式顯微鏡

放大倍率

16X-200X/20X-4000X

移動(dòng)行程

X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸行程50.8mm

光源

外置LED環(huán)形光源/同軸光源

CCD

200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素








定位器

X-Y-Z移動(dòng)行程

12mm*12mm*12mm

移動(dòng)精度

10μm/2μm/0.7μm/0.5μm

吸附方式

磁力吸附,真空吸附

線纜

同軸線/三軸線

漏電精度

10pA/100fA/10fA

固定探針

彈簧固定/管狀固定

接頭類(lèi)型

BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚(yú)夾/接線端子

針尖直徑

0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm

針尖材質(zhì)

鎢鋼;鈹銅

可選附件:

加熱臺(tái);
顯示器;
轉(zhuǎn)接頭;
射頻測(cè)試配件;

屏蔽箱;

光學(xué)平臺(tái);
鍍金卡盤(pán);
光電測(cè)試配件;

高壓測(cè)試配件;

顯微鏡快速傾仰裝置;

激光系統(tǒng);

探針卡夾具;

探針臺(tái)可根據(jù)客戶(hù)要求定制。


Huace-6 中端探針臺(tái)


北京華測(cè)試驗(yàn)儀器有限公司

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