簡介：小體積電子顯微鏡高壓電源掃描電子顯微鏡SEM場發(fā)射電子顯微鏡FEM半導(dǎo)體分析，加工和修理離子束刻蝕聚焦離子束光刻紋波2ppm

威思曼高壓電源場發(fā)射掃描電子顯微鏡應(yīng)用的OEM模塊EMA系列高壓電源為場發(fā)射掃描電子顯微鏡高質(zhì)量圖像和高分辨率提供了保障，接受客戶定制。

威思曼的EMA系列是一款集成的多輸出的高壓電源，專為驅(qū)動掃描電子顯微鏡而設(shè)計，所有輸出均提供ppm級低輸出紋波， ppm級穩(wěn)定性， ppm級溫度系數(shù)，高精度和少微放電。威思曼在該應(yīng)用中研究15年，積累了豐富的知識使我們可以按照客戶的需求定制以滿足電子顯微鏡的苛刻要求。

采用緊湊型解決方案，體積小。所有輸出均提供低輸出紋波，出色的穩(wěn)定性，溫度系數(shù)和精度。通過威思曼自有的高壓隔離技術(shù)提供相應(yīng)懸浮電源的隔離和控制。

該集成EMA系列電源系統(tǒng)，客戶控制通過光纖接口完成。所有高壓安全聯(lián)鎖均采用基于故障安全硬件的設(shè)計，EMA系列電源通過CE認證，符合適用的IEC，UL和SEMI標準。

典型應(yīng)用：

場發(fā)射掃描電子顯微鏡

電子束供電

產(chǎn)品規(guī)格

（參考PDF規(guī)格書）

產(chǎn)品特性：

輸入電壓：+ 24Vdc，±5％@5安培。 浪涌電流<6安培，持續(xù)1秒。

安全保險絲： 5 x 20mm陶瓷保險絲，內(nèi)部更換，并標有保險絲值。

漏電流： <200μA

電壓：相對于地，0V至-30kV滿載

電源開關(guān)：船型開關(guān)允許從前面板開啟和關(guān)閉裝置。

環(huán)境：

工作溫度：正常工作時環(huán)境溫度+ 10°C至+ 45°C。該裝置將在0°C下運行，但需要延長預(yù)熱時間。

儲存溫度：-30°C至+ 70°C

濕度：10至90％RH，無冷凝

海拔高度：全功率2000米ASL。對于2000 米以上的海拔高度，環(huán)境工作溫度每300米間隔線性降低1.1°C。

機械：

該裝置配有一對可拆卸的安裝支架;

該裝置可以任何方向操作。M5 x 23mm 保護接地螺柱安裝在HV連接器附近

尺寸：240mmX130mmX332mm

重量：10.2 kg (22.5 lb)

加速電源

輸出電壓：

-100V至-30kV，負極性。

可設(shè)定32.5kV的無負載電流的調(diào)節(jié)電壓。

在任何情況下輸出都不會大于35kV。輸出可以設(shè)置為OFF，禁用Beam Energy轉(zhuǎn)換器，在這種情況下輸出將<60伏。

輸出電流：

200μA，20kV至30kV

輸出電流保護范圍：

250μA±10％輸出禁用并鎖定，延遲約1秒。程序電壓設(shè)置為零。

精度（電壓給定）：

在控制范圍內(nèi)<1％或±10V（以較大者為準）

電壓控制：

16位DAC，分辨率0.5V，滿量程= 32,768伏

線性度：

-20至-30kV <±25V

負載調(diào)整率：

對于30μA至200μA的負載變化，<±100mV

線路調(diào)整率：

從22.8V到26.4V線路變化<±10ppm

波紋：

HF<25mVp-p LF<50mVp-p @ 0uA至200uA，0.1Hz至20MHz

溫度系數(shù)：

從+10℃到+45℃<10ppm /℃，從+20℃到+30℃ <5ppm /℃

穩(wěn)定性：

在恒定操作條件下預(yù)熱1小時后<200mV / 15分鐘。

電壓顯示：

16位，分辨率0.5V。相對于實際輸出電壓的精度為±2％或±10V。

電流顯示：

12位，分辨率100nA，精度為±2％或±1μA。

擺動幅度：

0％至100％調(diào)制，步長為1％，其中100％定義為光束能量輸出的±5％，最小值為±50V。峰峰值是振幅的兩倍。

擺動周期：

666至2000毫秒?？梢?毫秒的步長調(diào)節(jié)。正弦輸出，每周期16點。擺動始終在零交叉處開始和停止。

儲存能量：

<850mJ

燈絲電源：

連接：

燈絲的中心連接到Beam Energy輸出。輸出可以設(shè)置為關(guān)閉，禁用燈絲轉(zhuǎn)換器。

燈絲電壓：

標稱值為1.8V，值為3V

燈絲電流：

控制范圍為0.5A至3A

負載電阻：

標稱值為0.6Ω

準確性：

2至3安培之間±5mA

電流控制：

12位DAC，分辨率1mA。滿量程= 4.096安培

線性度：

0.5A和3A之間±10mA

負載調(diào)整率：

在3A時，0.4Ω至1.0Ω的變化<5mA。（包括輸出線）

線路調(diào)整率：

電源電壓變化5％<1mA。

線性度：

0.5A和3A之間±10mA

波紋：

0.6mA @ 3.0A時，<1mAp-p，20Hz至10kHz，<30mV pp，約100kHz

溫度系數(shù)：

<25PPM /℃

穩(wěn)定性：

<2mA / 60分鐘。在恒定的操作條件下預(yù)熱一小時后。

電壓顯示：

12位，分辨率2.5V，滿量程= 10.24V。

相對于實際輸出電壓的精度：±5％或±25mV

電流顯示：

12位，分辨率+/- 1mA，滿量程= 4.096安培。

相對于實際輸出電流的精度為±10mA。

燈絲開路報警OC：

開路檢測，Vout> 5.2±0.1伏。將禁用所有輸出并將程序設(shè)置為零。

燈絲電流過流保護：

如果輸出電流大于3.15A十秒鐘，則檢測到過電流。將禁用所有輸出并將程序設(shè)置為零。

提取極電源

輸出電壓：

0V至10kV（相對于加速電壓為正）。

控制范圍+ 100V至+ 10kV。輸出可以設(shè)置為OFF，禁用提取器轉(zhuǎn)換器。

輸出電流：

控制范圍700μA。

編程過流電流值：

可編程0至735μA，分辨率0.25μA。精度±2％或2μA。應(yīng)禁用所有輸出并將程序設(shè)置為零

精度（電壓給定）：

在控制范圍內(nèi)<1％或±20V（以較大者為準）

電壓控制：

12位DAC，分辨率2.5V，滿量程= 10.24kV

線性：

在控制范圍內(nèi)±20V

負載調(diào)整率：

<±1V（10μA - 700μA輸出電流變化）

<100mV @ 40μA0.1Hz 至20MHz

輸入調(diào)整率：

+/- 5％線路變化<±5ppm

波紋：

在10kV，700μA，0.1Hz-20MHz時<20mVp-p

溫度系數(shù)：

<25ppm/℃

穩(wěn)定性：

<0.05V / 15分鐘; 在恒定的操作條件下預(yù)熱一小時后

斜率：

10V / s至1000V / s

電壓顯示：

12位，分辨率2.5V，滿量程= 10.24kV。

相對于實際輸出電壓的精度：±1％或±20V

電流顯示：

12位，分辨率0.25uA，滿量程= 1.024mA。

相對于實際輸出電壓的精度：±2％或±2uA

保護：

連續(xù)/間歇的電弧到加速電源和大地。

儲存能量：

<150mJ

抑制極電源

電壓：

0V至1000V（相對于加速電壓為負）。

控制范圍100V至1000V。輸出可以設(shè)置為OFF，禁用提取器轉(zhuǎn)換器。

輸出電流：

控制范圍<200μA。

過流保護：

100μA±10％，延遲5秒，將禁用所有輸出并將程序設(shè)置為零。

精度（電壓給定）：

在控制范圍內(nèi)<2％或±6V（以較大者為準）

電壓控制：

12位，分辨率0.25V，滿量程= 1024V

線性：

在控制范圍內(nèi)±5V

負載調(diào)整率：

對于10μA至100μA的負載電流變化，<120mV。

輸入調(diào)整率：

+/- 5％線路變化<±5ppm

波紋：

控制范圍<10mV pp，0.1Hz至20 MHz。

溫度系數(shù)：

<25PPM /℃

穩(wěn)定性：

<0.1V / 15分鐘; 在恒定的操作條件下預(yù)熱一小時后

電壓顯示：

12位，分辨率0.25V，滿量程= 1.000kV。

相對于實際輸出電壓的精度：±2％或±250mV

電流顯示：

12位，分辨率0.25uA，滿量程= 0.2mA。

實際輸出電流精度：±10％

保護：

連續(xù)/間歇弧到加速電源或提取極電源

儲存能量：

<2.5mJ