美國SIERRA Smart-Trak 140 系列氣體質量流量控制器產(chǎn)品特點：

SmartTrak 140超低壓損氣體質量流量控制器專門針對壓損要求高的氣體控制研發(fā)設計，

特別是一些昂貴的氣體控制，減少氣體通過控制器的壓降就能夠節(jié)省資金和提升效率。

zui高可控制500SLPM的流量壓降只有4.5PSID，遠低于市場上傳統(tǒng)的同等性能的質量流量控制器的壓降值25psid，精MI的數(shù)字PID控制閥無需手動調節(jié)。

美國SIERRA Smart-Trak 140 系列氣體質量流量控制器產(chǎn)品特點：

. zui高可控制氣體流量為500slpm(nlpm)，壓損為4.5psid(310mBard)

. 高精度：±1.0%滿量程

. 高重復性：±0.2%的滿量程

. 線性性能：10種標準氣體的線性度均為±1.0%滿量程

. 使用Dial-A-Gas 技術內置了10種不同的氣體。

. 精MI的數(shù)字PID閥門控制，自動調節(jié)。

. 大的閥門流通系數(shù)(Cv)，確保在低壓差情況下準確控制氣體流量。

. 線性層流器元件(LFE)

. 鉑金毛細管傳感器技術

. 全 316不銹鋼表體

. 的引導模塊(固定或手持)可方便查看或更改關鍵參數(shù)

. 避免現(xiàn)場重新調零和調節(jié)zui大值

. 有多重模擬和數(shù)字輸出可選：PS-232，RS-485，4-20Ma，0-5，1-5，0-10VDC

. 基準式標定，證書可溯源至NIST

. 數(shù)字通訊支持：參照100系列(P1)

. 可選Compod添加Modbus組成網(wǎng)絡通訊，包括繼電器，累計器、輸入和顯示。

美國SIERRA Smart-Trak 140 系列氣體質量流量控制器技術參數(shù)：

精度：

標準標定：±1.0%滿量程及工作條件下的線性度(100M在201-300slpm時精度為2%的滿量程)

Dial-A-Gas®：±1.0%的滿量程(所有內置的10種氣體)

重復性：±0.2%的滿量程

溫度系數(shù)：±0.025%的滿量程每°F(0.05%的滿量程°C)或更小

壓力系數(shù)：±0.01%的滿量程每psi(0.15%的滿量程bar)或更小

響應時間：

600ms的時間常數(shù)，4秒(典型的)達到zui終的±2.0%.