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- 公司名稱(chēng) 日立集團(tuán)
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- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時(shí)間 2023/2/16 10:06:38
- 訪問(wèn)次數(shù) 89
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優(yōu)異的高效分析性能微型采樣方法(已在日本和美國(guó)取得)已在半導(dǎo)體器件分析領(lǐng)域成為一款工具,它正迅速向更小制樣方向發(fā)展。僅用一小時(shí)左右即可獲得一個(gè)微小樣品,以便于STEM分析,其定位精度可達(dá)到0.1 m以下。
優(yōu)異的高效分析性能
微型采樣方法(已在日本和美國(guó)取得)已在半導(dǎo)體器件分析領(lǐng)域成為一款工具,它正迅速向更小制樣方向發(fā)展。僅用一小時(shí)左右即可獲得一個(gè)微小樣品,以便于STEM分析,其定位精度可達(dá)到0.1 µm以下。
一個(gè)微柱狀樣品,包含一個(gè)直接從半導(dǎo)體器件上準(zhǔn)確地切割下來(lái)的分析點(diǎn)。改變?nèi)肷渚劢闺x子束(FIB)的方向,把微樣品切割或加工成任意形狀。
新開(kāi)發(fā)的半導(dǎo)體裝置評(píng)估系統(tǒng)由FB2200聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)和HD-2700 200 kV(STEM)掃描透射電子顯微鏡構(gòu)成。從對(duì)材料缺陷(組織)的搜索到亞納米薄膜高精度結(jié)構(gòu)分析,只要幾小時(shí)即可完成。
聚焦離子束-透射電子顯微鏡(掃描透射電子顯微鏡)(FIB-TEM(STEM))的樣品桿可互換共用
針尖頂端的微柱狀樣品SEM像
微柱狀樣品的明場(chǎng)STEM像
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