Filmetrics的薄膜電阻測量設(shè)備開發(fā)源自于有著超過30年經(jīng)驗(yàn)的KLA的薄膜電阻計(jì)量技術(shù)，并由20年臺式測量設(shè)備開發(fā)經(jīng)驗(yàn)的Filmetrics團(tuán)隊(duì)完善了桌面式方塊電阻測量產(chǎn)品。KLA薄膜電阻測量技術(shù)包括接觸（4PP）和非接觸（EC）方法。

Filmetrics的R50系列方塊電阻測量儀器可測量沉積在各種基材上的導(dǎo)電片和薄膜，跨越10個數(shù)量級范圍電阻率，包括：

半導(dǎo)體晶圓基板

玻璃基板

塑料（柔性）基材

PCB圖案特征

太陽能電池

平板顯示層和圖案化特征

金屬箔

二、主要功能

l 技術(shù)規(guī)格

三、應(yīng)用

支持廣泛的測量，包括但不限于以下各項(xiàng)：

金屬膜厚度、基板厚度、方塊電阻、電阻率、電導(dǎo)率、多層膜