快速轉盤共聚焦顯微鏡——用于質量保證和控制的表面分析

產品描述

Smartproof 5快速轉盤共聚焦顯微鏡以共聚焦光學為基本原理，采用的高速轉盤掃描技術為成像方法，將高分辨率與速度結合在一起，是一款能夠快速提供工業(yè)零部件表面三維輪廓，并可實現(xiàn)非接觸式表面粗糙度測量的精密分析儀器。

Smartproof 5擁有業(yè)內的高分辨率和高速度共聚焦系統(tǒng)，的轉盤共聚焦技術有效地減少獲取分析結果的時間。集成和穩(wěn)固設計確保無附加防振設備下能夠在不同環(huán)境中安裝并使用，的操作者模式適合工業(yè)生產的批量檢測任務，能夠極大地提高檢測效率。蔡司以她的光學技術和基于用戶的設計理念，再次向世界證明了光學的地位。

產品特點

l高分辨

由于采用了共聚焦成像原理，Smartproof 5將傳統(tǒng)光學分辨率提高1.4倍，其XY方向線分辨率達到120 nm。

l高測量精度

同時，在充分利用共聚焦能提供高度信息的基礎上，Smartproof 5配備了精度高、重復性好的Z軸自動步進裝置，最小步進精度達到1nm，這使得高度上亞微米，甚至納米尺度的非接觸式精確測量成為可能。

l高速掃描

傳統(tǒng)共聚焦采用點掃描成像，速度較慢；而Smartproof 5采用轉盤掃描，成像速度大大提高，的高精度模式掃描速度超過50幅/秒（2048*2048分辨率），可以說瞬間即可得到測量結果，大大提高工作效率。

l真實色彩還原

還可使用三色LED光源，能夠展現(xiàn)被測試樣表面的真實顏色，從而將傳統(tǒng)黑白共聚焦掃描顯微鏡拓展到更廣闊的應用領域。

技術參數(shù)：

1. 波長：405nm

2. 分辨率：120nm

3. Z軸最小步進精度：1nm

4. 成像速度：常規(guī)共聚焦的2-3倍

5. 物鏡：2.5x-100x 

6. 高度掃描范圍：高達5mm

7. 載物臺：150mm×150mm超大行程

8. 控制系統(tǒng)：Smartproof 5應用軟件

9. 圖像處理和數(shù)據(jù)測量：

2D：距離，高度，角度，構造元素，基于ISO 4287的輪廓粗糙度

3D：水平距離，3D距離，高度，角度，構造點，面積，體積，基于ISO 25178的面粗糙度

其他：水平調整，形狀去除，濾波，去噪，報告

應用

1. 汽車制造：研究活塞的摩擦磨損、特殊要求的部件表面粗糙度測量、焊接組件及接縫處的角度測量

2. 航空航天工業(yè)：評價橡膠密封圈的磨損、特殊要求表面 的粗糙度分析

3. 醫(yī)療器械：植入器官的表面測量

4. 微光學/機械制造：敏感精密光學部件的表面測量、精密機械部件的精密幾何測量

5. 電子：導線的幾何量測量（寬度，厚度等）、焊接結點的質量過程控制

6. 造紙：紙張以及印刷品的表面測量

應用圖例：

激光刻蝕表面，帶表面紋理圖層的3D 彩色編碼高度圖

衍射光學器件，彩色編碼高度圖

研磨鋁表面,帶表面紋理圖層的3D顯示圖

臺階高度標樣測試（標準高度1.777±0.011mm，NIST認證），實測臺階高度1.772mm。

上圖：三維偽彩圖；下圖：二維輪廓線圖。

粗糙度標樣測試結果。標準粗糙度Ra = 2.97mm，實測Ra=2.962mm。

20x物鏡，4x1三維拼接，cut-off值取1/5取樣長度。