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PCE-22紫外臭氧清洗機(jī)

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產(chǎn)品簡介:PCE-22紫外臭氧清洗機(jī)是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機(jī),其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片,為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠,改善表面潤濕性,清洗SEM &TEM,紫外對(duì)聚合物改性等。 紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對(duì)材料無損傷的原子級(jí)別的清洗手段,特別適合清除一些有機(jī)化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵)。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機(jī)化合物。

產(chǎn)品型號(hào)

PCE-22紫外臭氧清洗機(jī)

主要特點(diǎn)

1、僅室內(nèi)使用; 海拔高度5500英尺以內(nèi);

2、溫度范圍:5-40℃;

3、相對(duì)濕度80%,30.5℃,40℃線性降至50%相對(duì)濕度;

4、主電源波動(dòng)不超過額定電壓的10%;

5、污染等級(jí)2; 臭氧水平(環(huán)境)測(cè)量<45 ppb。

6、去除分子級(jí)別的污染物

7、紫外光固化粘合劑

8、紫外光催化

9、氧化PDMS

10、表面消毒

11、刻蝕

12、清洗MEMS 器件

13、清洗各種基片,如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片

技術(shù)參數(shù)

1、功率:350W

2、AC 208~240V,單相 50/60Hz

腔體&樣品臺(tái)

1、不銹鋼殼體

2、抽屜式樣品臺(tái),以便放樣取樣

3、樣品臺(tái)面積310 mm x 320 mm

4、臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上

5、樣品臺(tái)與紫外燈的距離:20mm -40mm(可調(diào))

6、樣品臺(tái)可以加熱,溫度可達(dá)150℃

7、可設(shè)置20段升降溫程序,控溫精度為+/-1℃

8、設(shè)備運(yùn)行時(shí)間:0.01 秒- 99.9小時(shí)

排氣口

1、直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端

2、請(qǐng)將橡膠管與排氣口連接,將臭氧排出到實(shí)驗(yàn)室外

3、儀器中不包含橡膠管

紫外燈

1、可發(fā)出雙波長的水銀燈

2、功率:55W

3、發(fā)出光的波長:254 nm 和 185 nm

4、使用壽命:2500 小時(shí)(可更換)

5、照射區(qū)域:200 x 200 mm

6、可以清潔直徑為12英寸x 35毫米的晶體晶片。

產(chǎn)品規(guī)格

1、尺寸:510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

2、重量:28kg


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