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GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀

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產(chǎn)品簡介:GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀是一款緊湊的大氣離子表面處理噴射系統(tǒng),主要由射頻發(fā)生器、離子束頭組成。噴射的離子束流能在較低的溫度和沒有真空條件的環(huán)境下活化和清理材料(如單晶片、光學元件、塑料等)表面雜質(zhì),且清理速度迅速。本機是為獲得高質(zhì)量的外延薄膜或光學涂層進行預先表面處理的合適的工具選擇。GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀具有一個樣品臺,將樣品固定在樣品臺上后可進行X、Y、Z三個方向上一定范圍內(nèi)的連續(xù)移動清洗,且清洗過程中離子束不會發(fā)生抖動,清理后的樣品表面質(zhì)量均勻。

 

產(chǎn)品名稱

GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀

產(chǎn)品型號

GSL-1100X-PJF-A

主要特點

1、高速理物件表面,操作簡單、安 。

2、無需真空腔室環(huán)境。

3、小巧實用、成本低。

4、重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊。

5、已通過CE認證。

技術(shù)參數(shù)

1、電源:110/220V  50Hz/60Hz  <1000W

2、輸出頻率:20KHz-23KHz

3、離子束頭圓頭10mm-12mm,矩形頭15mm-18mm

4、輸入氣壓0.275MPamin)

5、工作氣氛空氣、氮氣、氬氣、混合氣體,但不要使用易燃易爆氣體

6、等離子工作壓力:0.048MPa-0.068MPa

7、工作環(huán)境:溫度<42℃,濕度≤40%RH

8、工作臺:自動控制三維工作臺,X、Y軸電動調(diào)節(jié),Z軸手動調(diào)節(jié)

9、真空吸盤:Ø100mm

10、X軸行程:200mm

11、Y軸行程:100mm

12、Z軸行程:50mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:600mm×600mm×1250mm;重量:55kg


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