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大負載桌腿型、主動氣浮隔振光學平臺（MAPS series）

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產(chǎn)品介紹視頻產(chǎn)品簡介明立精機的MAPS系列產(chǎn)品的除振系統(tǒng)是在精巧的形狀中加入垂直與水平用的氣壓驅(qū)動器而構(gòu)成的組裝型除振裝置

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產(chǎn)品介紹視頻


產(chǎn)品簡介

明立精機的MAPS 系列產(chǎn)品的除振系統(tǒng)是在精巧的形狀中加入垂直與水平用的氣壓驅(qū)動器而構(gòu)成的組裝型除振裝置。使用1 組4 個的話，對應全自由度的振動，能發(fā)揮出除振性能、制振性能、定位性能等。






產(chǎn)品特點

  1. MAPS 可以消除被動除振的困難頻段的振動

  2. 標準的MAPS 可除振10 噸以上的設備

  3. 搭載工件等移動裝置也不會搖擺

  4. MAPS 具有精確定位及精密校平性能

  5. MAPS 是小型易操作的組合型系列

  6. MAPS 是構(gòu)成精密設備的一個重要部分


應用領域

半導體制造，等


主要規(guī)格和參數(shù)表


附注



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