高精度緊湊型AU-XRT系列壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)是一款緊湊的高精度的

高精度緊湊型

AU-XRT系列壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)是一款緊湊的高精度的。該系列旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用軸承技術(shù)，使壓電旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的徑向、軸向和傾斜方向上的旋轉(zhuǎn)誤差小。該系列由滑塊驅(qū)動(dòng)和超聲波馬達(dá)兩種驅(qū)動(dòng)方式，可進(jìn)行連續(xù)旋轉(zhuǎn)，對(duì)角度無(wú)限制，并且集成了光學(xué)編碼器閉環(huán)控制，使壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)擁有的分辨率和可重復(fù)性。

上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)按照使用馬達(dá)的不同可以分為兩類。

1）使用超聲波馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)，AU-XRT-U系列。

AU-XRT-U系列是由超聲波驅(qū)動(dòng)的緊湊的旋轉(zhuǎn)臺(tái)。其與空氣軸承旋轉(zhuǎn)臺(tái)擁有相媲美的旋轉(zhuǎn)精度和誤差但是卻擁有更小的體積和更低廉的價(jià)格。與其它壓電技術(shù)相比超聲波壓電電機(jī)擁有更長(zhǎng)的使用壽命、更低的功耗并且無(wú)噪聲。并且集成了光學(xué)編碼器閉環(huán)控制，精度可達(dá)到0.0002°，速度可達(dá)到1080°/s。該系列用AU-XRT-U30和AU-XRT-U40兩款旋轉(zhuǎn)臺(tái)。

Fig1 運(yùn)動(dòng)誤差測(cè)量

Fig2 AU-XRT-U

2)滑塊式驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)AU-XRT-A.

AU-XRT-A采用滑塊式壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，利用軸承技術(shù)，即使在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中也可以主動(dòng)將徑向誤差運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償，AU-XRT-A的徑向誤差小于500nm，可以與空氣軸承精度相媲美，并且體積緊湊價(jià)格低廉，并且可以提供真空和磁性應(yīng)用的產(chǎn)品。

Fig3. 運(yùn)動(dòng)誤差測(cè)量

Fig4.AU-XRT-A旋轉(zhuǎn)臺(tái)

主要特點(diǎn)

l  高精度（200μ°）

l  高速度（1080°/s）

l  可在真空10^-6mbar和磁性（1.5T）條件使用

主要應(yīng)用

l  微型CT掃描儀

l  衍射系統(tǒng)

l  電子顯微鏡

l  同步加速器

l  計(jì)量學(xué)

產(chǎn)品參數(shù)：