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一維/二維無串擾大負載壓電快速偏擺臺

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一維/二維無串擾大負載快速偏擺臺

高速高精度大負載偏擺臺!


上海昊量推出的法國Piezoconcept公司快速偏擺臺采用壓電陶瓷直推,以柔性鉸鏈為導向,各方向單獨運動無串擾。使其具有結(jié)構緊湊、體積小、無機械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點,快速偏擺臺采用硅位移傳感器,相比于傳統(tǒng)的電容式位移傳感器,硅傳感器可以直接探測角度可以提供更高的精度,而且快速偏擺臺擁有更高的精度和線性度以及較低的底噪,快速偏擺臺的精度可以達到5nrad,底噪低至1nrad。


昊量光電推出的快速偏擺臺是用于控制光束的理想工具。AU-TT系列快速偏擺臺 (AU-TT1為單軸快速偏擺臺,AU-TT2為二維快速偏擺臺),每個軸可提供5mrad/10mrad的偏轉(zhuǎn)角。其中鏡面安裝面為1英寸,采用硅傳感器閉環(huán)控制,精度可達到5納弧度,底噪低至1納弧度。該款產(chǎn)品是一款高速偏擺臺,具有大扭矩,配合高速控制器使用時,掃描速度可達到500Hz,響應時間可達到2ms。由于高的結(jié)構剛性和分離式的結(jié)構設計,可以實現(xiàn)高達500g超大負載和超低的軸間串擾。

它是需要光束控制的應用的理想工具。該納米定位器是我們高速產(chǎn)品線的一部分(可提供大功率控制器)。被廣泛的應用于粒子跟蹤、、、掃描顯微鏡等領域。

應用實例:

Fig.2. AU-TT2.5 on an optical tweezer experiment

Fig.3. AU-TT-2.5 during an unic experience where it was possible to measure yourself the speed of light

★  產(chǎn)品特點

l  高分辨率(5nrad)

l  高速度,自振頻率可達4000Hz

l  采用硅傳感技術

l  超低底噪(1nrad)

l  柔性鉸鏈導向

l  大負載可達500g


★  主要應用

l  光束穩(wěn)定

l  粒子跟蹤

l  快速轉(zhuǎn)向

l  共焦顯微鏡

l  掃描顯微鏡

l  光鑷

 
★  產(chǎn)品參數(shù):



Unit

 AU-TT1.5/AU-TT1.10

AU-TT2.5/AU-TT2.10

Range of motion

(mrad)

 5/10

5/10

Resolution

(µrad)

 0.005/0.01

0.005/0.01

Typical noise floor

(µrad)

 0.005/0.01

0.0005/0.001

Full range repeatability

(µrad)

 0.01/0.02

0.01/0.02

Linearization (typical)


 0.2%

0.2%

Resonant frequency

(Hz)

 2000/1200

4000-2000/2200-1200

Stiffness

(N/µm)

 N/A

N/A

Maximum load:




horizontal use

(kg)

 0.5

0.2

vertical use

(kg)

 0.2

0.2

Sensor


 Silicon HR sensor

Silicon HR sensor

Material


 Al

Al

Cable length

(m)

 2

2

Controller


 Standard or High Speed

Standard or High Speed



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