| 參考價 | 面議 |
| 參數(shù) | 單位 | OPP120SM |
| 型號 |
| V- OPPSM120 |
| 備注 |
| - |
| 傳感器 |
| SG,ECS |
| 主動軸 |
| TZ |
| 空載位移[Tz] | um | 140 |
| 轉(zhuǎn)動[Rx, Ry] | urad | 25 |
| 電壓范圍 | V | -20…150 |
| 分辨率 | nm | 14 |
| 硬度 | N/um | 0.71 |
| 高度(Z 軸) | mm | 50.0 |
| 尺寸 | mm | 65*40 |
| 質(zhì)量 | g | 180 |
| 空載共振頻率(在致動方向)負載=50g | Hz | 600 |
| 負載響應(yīng)時間 | ms | 1.14 |
| 電容 (每個電氣接口) | uF | 3.15 |
| 機械接口(有效負載) |
| 物鏡接口 M25 *0.75() |
| 機械接口(框架) |
| 顯微鏡接口( M25 *0.75) |
| 電氣接口 |
| 1RG 178B/U 同軸電纜 |
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