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SID4-UV 紫外 波前傳感器/波前分析儀

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SID4-UV紫外/【SID4-UV分析儀簡介】隨著光波波前探測技術的發(fā)展,各種波前傳感器應運而生

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SID4-UV 紫外/


SID4-UV分析儀簡介

隨著光波波前探測技術的發(fā)展,各種波前傳感器應運而生。從測量原理上可以分成兩類:一類是根據(jù)幾何光學原理,測定波前幾何像差或面型誤差,主要有Shack-Hartmann 波前傳感器,曲率傳感器和Pyramid 波前傳感器等;另一類是基于干涉測量原理,探測波前不同部分的干涉性,來獲取波前信息,主要有剪切波前傳感器和相位獲取傳感器等。剪切干涉儀波前傳感器不需要精確的參考標準鏡;它們結(jié)構(gòu)簡單,抗力強,條紋穩(wěn)定。SID4-UV波前分析儀是測量光學元件和光束波前質(zhì)量的一種很好的替代傳統(tǒng)干涉儀的方法。SID4-UV波前分析儀作為低可至波長250 nm的高分辨率波前傳感器,SID4-UV波前分析儀非常適合于紫外光學測量,包括用于光刻或半導體應用紫外激光表征,以及透鏡和晶圓的表面面型檢測。


【關于】

是一家專注于高分辨率傳感技術的法國公司。Phasics公司憑借其在測量方面的專業(yè)經(jīng)驗與的波前測量技術為客戶提供全面的高性能。


 一、 SID4-UV波前分析儀/波前傳感器主要特點


  • 250 x 250超高相位取樣分辨率

  • 2 nm RMS高相位靈敏度

  • 紫外波段波前測量的通用解決方案

                 

                                 非準直光入射                                                                                                      消色差


二、SID4-UV波前傳感器/波前分析儀產(chǎn)品應用


  • 波前像差測量

基于四波剪切技術,Phasics 的波前傳感器同時提供具有的高分辨率的相位和強度測量。 波前傳感器與其光束分析軟件相結(jié)合,可提供完整的激光診斷:波前像差、強度分布、激光參數(shù)(M2、束腰尺寸和位置等)。Phasics 的波前分析儀可以放置在光學裝置的任何一點,無論光束是準直的還是發(fā)散的。作為低可至波長250 nm的高分辨率波前傳感器,SID4-UV非常適合于紫外光學測量,包括用于光刻或半導體應用紫外激光表征,以及透鏡和晶圓的表面面型檢測。



  • 測量

SID4系列波前傳感器可以配合用戶自行搭建的光路系統(tǒng)進行像質(zhì)評價,只需一次直接拍攝,就可以通過軟件后處理測量參數(shù)(PSF, MTF, Zernike系數(shù))。如果不能自行搭建光路系統(tǒng),也可以進一步了解Kaleo Kit 套裝等產(chǎn)品測量MTF等產(chǎn)品。




三、SID4-UV波前傳感器/波前分析儀應用領域

紫外光學測量| 光刻或半導體應用紫外激光表征| 透鏡和晶圓的表面面型檢測| | 等離子體密度


四、SID4-UV波前分析有/波前傳感器主要規(guī)格

波長范圍

250-400nm
靶面尺寸7.4 x 7.4 mm2
空間分辨率29.6 µm
取樣分辨率250 x 250
相位分辨率2 nm RMS
精度10 nm RMS
采集速率30 fps
實時處理速度 > 2 fps (全分辨率下)


五、與夏克-哈特曼波前傳感器對比


六、更多參數(shù)選型






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