白光干涉，作為一種廣泛應(yīng)用的三維表面形貌測量技術(shù)，其縱向分辨率可達(dá)到亞納米級別。
視場內(nèi)信息采集與數(shù)據(jù)處理同時(shí)進(jìn)行，大面積區(qū)域的高度信息采集時(shí)間短。
多用于科學(xué)研究與質(zhì)量管理領(lǐng)域，典型應(yīng)用包括不同表面粗糙度樣品的三維表面形貌測量（如晶片結(jié)構(gòu)、鏡面、玻璃與金屬）、臺階高度測定和曲面精度測量（如微型透鏡）。
SmartWLI系列白光干涉三維輪廓儀創(chuàng)新性地整合白光干涉技術(shù)，自主研發(fā)的SmartWLI 軟件可以對整個(gè)測量過程進(jìn)行監(jiān)測與控制。
其核心算法基于GBS*研發(fā)與測量經(jīng)驗(yàn)，具備高效、穩(wěn)定、精度高等特點(diǎn)。
技術(shù)優(yōu)勢：
-非接觸
-納米級精度
-測量時(shí)間短
-性能可靠
結(jié)構(gòu)：
LED光源（軟件控制）
壓電馬達(dá)，用于垂直方向物鏡移動，范圍400μm
控制盒
CCD攝像頭（1624 x 1234 像素）GigE接口
PC機(jī)或筆記本電腦 Win7系統(tǒng)，NVIDIA GPU 用于超快數(shù)據(jù)處理，液晶顯示器，鍵盤，鼠標(biāo)
GBS公司開發(fā)SmartWLI軟件，用于形貌測量及通過直接接口輸出三維數(shù)據(jù)進(jìn)入MountainsMap圖片形貌圖片處理軟件，包括文件編制MountainsMap圖片形貌軟件，用于圖片處理，數(shù)據(jù)分析與生成報(bào)告。
技術(shù)參數(shù)：
應(yīng)用領(lǐng)域：
-表面形貌和粗糙度測定
-2D顯微鏡升級為3D顯微鏡
-曲面精度測量
配件：
為實(shí)現(xiàn)樣品表面三維形貌的高精度（納米級）測量要求，輪廓儀需配合防震臺使用。GBS公司*ACCURION I4主動式（充氣）防震臺來降低測量過程中的震動噪聲影響。
MountainsMAP®表面分析軟件與三維可視化測量報(bào)告
作為一款高品質(zhì)的表面成像與分析軟件，MountainsMAP®適合實(shí)驗(yàn)室、研究機(jī)構(gòu)及工廠各類機(jī)能表面的設(shè)計(jì)、測試或制造設(shè)備使用。
MountainsMAP®擁有一整套全面的解決方案，于表面外觀及形貌的成像與分析，提供詳盡的三維可視化測量報(bào)告。
