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300mm通用組合水平式檢測干涉儀是慧利儀器“大口徑相移式激光干涉儀系列產品之一。它采用經典的斐索型共光路設計，結構簡單、在適用于多種被測樣品的前提下，使用數字化相移分析方法實現高精度、多功能的檢測。不僅實現了干涉測量技術從小口徑到大口徑的更新拓展，而且填了國內制造業(yè)和國家質檢部]對高精度平面檢測設備需求的空白。
（1）應用領域
●光學平面計量
●半導體晶圓
●半導體掩膜版基板
●同步輻射
●光刻機光學元件
●航空航天折返成像系統(tǒng)
●空間光學器件
●強激光平板玻璃測量等
實現大口徑光學表面面形、透射波前、光學均勻性等參數的檢測。
（2）產品綜述
300mm通用組合水平式檢測干涉儀是慧利儀器“大口徑相移式激光干涉儀系列產品之一。它采用經典的斐索型共光路設計，結構簡單、在適用于多種被測樣品的前提下，使用數字化相移分析方法實現高精度、多功能的檢測。
慧利儀器300mm通用組合水平式檢測干涉儀不僅實現了干涉測量技術從小口徑到大口徑的更新拓展，而且填了國內制造業(yè)和國家質檢部]對高精度平面檢測設備需求的空白。
（3）參數性能
測量原理： | 斐索干涉原理 |
光源波長： | 632.8nm（穩(wěn)頻氦氖激光器）/633nm(波長調諧激光器） |
樣品準直： | 雙光點對準，對準角±3度 |
電源: | AC 220V 50HZ |
操作系統(tǒng)： | Windows系統(tǒng)，銀河麒麟操作系統(tǒng) |
CCD分辨率： | 1024*1024像素 2048*2048像素 |
軟件： | HL 數字化相移分析軟件 |
精密度： | ≤入/600 |
PV測量重復性： | ≤入/600 |
RMS測量重復性： | ≤入/8000 |
| RMS波前重復性： | ≤入/1800 |
透射平面鏡精度： | A/20 PV |
◆材質均勻性
◆超精密平面/球面面形測量
◆光學系統(tǒng)裝調和校準
◆光學組件透射波前測量
◆光學均勻性測量
◆平行度測量
◆角錐角度測量
◎◎我們會傾聽您的需求，支持特殊需求定制
部分客戶群體：蘇州計量院,上海計量院,福建計量院,上海光機所,石家莊13所,上?，F代先進超精密制造中心有限公司UPEC,長春理工,上海理工等。
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