磁控濺鍍設(shè)備 FPD-PVD
隨著 LCD 面板和制造所需玻璃的尺寸的增加, 制造設(shè)備也隨著變得更大, 需要越來越大的設(shè)備投資. 上海伯東代理磁控濺鍍設(shè)備 FPD-PVD 針對中小尺寸的需求開發(fā)串集的 PVD 設(shè)備, 擁有 4個單獨的濺鍍腔體, 讓客戶能任意搭配沉積的材料, 同時保有彈性和具有選擇性的系統(tǒng).


配置和優(yōu)點
客制化基板尺寸zui大為 550 x 650 mm2(玻璃)
薄膜均勻度小于±5％
穩(wěn)定的溫度控制, 可將基板加熱到 400°C

選件
Cassette 傳送站
基材電漿清潔
OES, RGA 或制程監(jiān)控的額外備用端口

應(yīng)用領(lǐng)域
TFT-LCD
太陽能電池
觸碰屏氧化物, 氮化物和金屬材料的研究

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上海伯東: 羅先生