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attoFPS 皮米精度位移激光干涉器

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attocube公司生產(chǎn)的attoFPSenor系列位移激光干涉器充分滿足了高分辨位移與定位的工業(yè)和科研需要，其緊湊的設(shè)計(jì)和穩(wěn)定性可以在環(huán)境中使用，在*的位移測(cè)量范圍內(nèi)，達(dá)到25pm的位移分辨率和10MHz的采樣速率，應(yīng)用范圍遍及閉環(huán)掃描器校準(zhǔn)、樣品或模塊位移、加工業(yè)、引擎位移探測(cè)等領(lǐng)域。

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皮米精度位移激光干涉器 - attoFPSensor

attocube公司生產(chǎn)的attoFPSenor系列位移激光干涉器充分滿足了高分辨位移與定位的工業(yè)和科研需要，其緊湊的設(shè)計(jì)和穩(wěn)定性可以在環(huán)境中使用，在*的位移測(cè)量范圍內(nèi)，達(dá)到25pm的位移分辨率和10MHz的采樣速率，應(yīng)用范圍遍及閉環(huán)掃描器校準(zhǔn)、樣品或模塊位移、加工業(yè)、引擎位移探測(cè)等領(lǐng)域。

+ 簡單易用，attoFPSensor自動(dòng)軟件控制與校準(zhǔn)

+ 測(cè)量速度快，attoFPSensor定位樣品采樣帶寬10MHz，分辨率25pm

+ 實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)采集界面，attoFPSensor利用Ethernet或HSSL實(shí)現(xiàn)定位數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)輸出

+ 多軸同時(shí)測(cè)量，attoFPSensor配有獨(dú)立的三軸定位器，允許同時(shí)位移測(cè)量、數(shù)據(jù)處理、和定位輸出

+ 精確度*，attoFPSensor鎖定分子吸附頻率做參考值，得到的定位信息具有測(cè)量學(xué)意義

+ 世界上zui小體積的位移測(cè)量干涉器，15mm直徑和12mm長

長時(shí)間使用仍可保持picometer穩(wěn)定度和精度探測(cè)目標(biāo)振動(dòng)簡單可靠


attoFPSensor具有*的信號(hào)穩(wěn)定性，如上圖時(shí)間與位移變化的關(guān)系所示：

在20mm工作距離下，其2σ為0.286nm

在70mm工作距離下，其2σ為0.530nm；

在120mm工作距離下，其2σ為1.035nm


attoFPSensor不僅是功能強(qiáng)大的實(shí)時(shí)位移探測(cè)設(shè)備，而且它還是一個(gè)振動(dòng)器。上圖是測(cè)量attocube位移器ANPxyz得到的結(jié)果。

attoFPSensor技術(shù)特點(diǎn)attoFPSensor*優(yōu)勢(shì)

+ 多維度位移干涉器

+ 完備的系統(tǒng)配置

+ 實(shí)時(shí)數(shù)字化界面

+ 高速FPGA控制單元

+ 10MHz采樣速率

+ zui大1m/s樣品位移速率，可選配更快速率

+ 基于單模光纖的探測(cè)器

+ 兼容真空與環(huán)境

+ 高帶寬位移探測(cè)

+ 閉環(huán)位移控制

+ MHz范圍內(nèi)的振動(dòng)測(cè)量

+ 目標(biāo)樣品熱負(fù)載<75uW

+ 探測(cè)器無需進(jìn)行電子器件鏈接

+ 工業(yè)化設(shè)計(jì)

+ 極其可靠與穩(wěn)定


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