PFA氣體緩沖瓶半導體車間HF檢測90度接頭
本標準引用了下列文件或其中的條款。凡是不注日期的引用文件，其有效版本適用于本標準。
GBT16157固定污染源排氣中顆粒物測定與氣態(tài)污染物采樣方法
HJT47煙氣采樣器技術條件
HJ/T48煙塵采樣器技術條件
HJ/T397固定源廢氣監(jiān)測技術規(guī)范

半導體行業(yè)氣體沖擊瓶 空氣質(zhì)量監(jiān)測

四、規(guī)范性引用文件
本標準引用了下列文件或其中的條款。凡是不注日期的引用文件，其有效版本適用于本標準。
GBT16157固定污染源排氣中顆粒物測定與氣態(tài)污染物采樣方法
HJT47煙氣采樣器技術條件
HJ/T48煙塵采樣器技術條件
HJ/T397固定源廢氣監(jiān)測技術規(guī)范

相關配套產(chǎn)品有：恒溫加熱采樣管（聚四氟乙烯或PFA材質(zhì)）、煙氣采樣器、煙塵采樣器、吸收瓶（聚四氟乙烯材質(zhì)或PFA材質(zhì)）、連接管（聚四氟乙烯材質(zhì)）、濾膜夾（與濾膜配套）、冷卻裝置、離子色譜儀、一次性水系針筒式過濾器0.45um、注射器10ml等。

南京濱正紅儀器有限公司

周 瑩 瑩