半導(dǎo)體參數(shù)分析儀SPM600系列是一款專用于半導(dǎo)體材料光電測試的系統(tǒng)。其功能全面，提供多種重要參數(shù)測試。系統(tǒng)集成高精度光譜掃描，光電流掃描以及光響應(yīng)速率測試。40μm 探測光斑，實現(xiàn)百微米級探測器的絕對光譜響應(yīng)度測量。超高穩(wěn)定性光源支持長時間的連續(xù)測試，豐富的光源選擇以及多層光學光路設(shè)計可擴展多路光源，例如超連續(xù)白光激光器，皮秒脈沖激光器，半導(dǎo)體激光器，鹵素燈，氙燈等，滿足不同探測器測試功能的要

 半導(dǎo)體參數(shù)分析儀SPM600系列是一款專用于半導(dǎo)體材料光電測試的系統(tǒng)。其功能全面，提供多種重要參數(shù)測試。系統(tǒng)集成高精度光譜掃描，光電流掃描以及光響應(yīng)速率測試。40μm 探測光斑，實現(xiàn)百微米級探測器的絕對光譜響應(yīng)度測量。超高穩(wěn)定性光源支持長時間的連續(xù)測試，豐富的光源選擇以及多層光學光路設(shè)計可擴展多路光源，例如超連續(xù)白光激光器，皮秒脈沖激光器，半導(dǎo)體激光器，鹵素燈，氙燈等，滿足不同探測器測試功能的要求。是半導(dǎo)體微納器件研究的優(yōu)選。

EQ光源

特點：

■ 光譜范圍寬：190-1700nm寬光譜范圍；

特點：

■ 光譜范圍寬：250-1700nm寬光譜范圍；

特點：

■ 光譜范圍：250-2500nm

測試案例