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CVD管式爐 CVD氣相沉積管式爐

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【產品名稱】1200℃-CVD管式爐
【爐管尺寸】φ25--φ120mm
【加熱區(qū)】300mm
【額定溫度】1200℃
【電源電壓】AC220V/50Hz
【控溫精度】±1℃
【應用領域】化學氣相沉積(CVD)是指化學氣體或蒸汽在基質表面反應合成涂層或納米材料的方法,是半導體工業(yè)中應用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術,包括大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。

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商品描述

【產品名稱】1200℃-CVD管式爐

【爐管尺寸】φ25--φ120mm

【加熱區(qū)】300mm 

【額定溫度】1200℃

【電源電壓】AC220V/50Hz 

【控溫精度】±1℃ 

【應用領域】化學氣相沉積(CVD)是指化學氣體或蒸汽在基質表面反應合成涂層或納米材料的方法,是半導體工業(yè)中應用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術,包括大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。


一、 產品描述

   系列產品主要針對在真空或者保護氣氛下對樣品的熱處理,優(yōu)質的爐膛材料和穩(wěn)定的溫度控制系統(tǒng),可保證實驗數(shù)據(jù)的可靠性;產品采用新型陶瓷纖維材料作為爐膛材料,爐管材質優(yōu)良,爐管兩端不銹鋼法蘭密封,可在真空下工作,法蘭上有進氣口和出氣口,可通入保護氣體,精密針型閥可調節(jié)進氣流量。

二、產品特點

1、 爐膛材料選用高純氧化鋁陶瓷纖維材料,新型拼裝結構,高溫不變形、堅固耐用

2、 發(fā)熱體采用高溫合金絲,可承受負荷大,穩(wěn)定且使用壽命長

3、 爐管采用石英管,兩端不銹鋼法蘭設計簡單、合理、易拆卸,方便進出被燒結樣品

4、 升溫速度快,從室溫升到1000攝氏度,一般需要15-30分鐘

5、 采用智能PID溫控儀表,控溫精度高,沖溫小,具有溫度補償和溫度校正功能,精度為±1℃

6、 控溫儀表具有程序功能,可設定升溫曲線,可編程序30段

7、 一體式結構,外觀設計美觀、大方

8、 電子元器件均采用產品帶有漏電保護功能,安全可靠

9、 本機對工作過程中的超溫會發(fā)出報警信號,并自動完成保護動作

10、當儀表程序設定完成后,只要按下運行按鈕,接下來的工作會自動完成

11、可選配大屏幕無紙記錄儀,實現(xiàn)對升溫曲線的實時記錄,并帶有存儲卡可對實驗數(shù)據(jù)進行分析和打印

12、可選配氣體質量流量計,通入氣體可數(shù)字精確控制


河南三特爐業(yè)科技有限公司

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