2 原理特征
2.1 技術(shù)原理
通過高頻振蕩的線圈,使通入的氬氣電離, 當電子的密度達到一定量時,立即產(chǎn)生等離子體
火焰,火焰中心的溫度可達10000K.將液態(tài)樣品通過進樣系統(tǒng)引入ICP 火焰,樣品中所含有的元
素將被激發(fā),發(fā)出特定的光譜線,將光譜線引入光譜室,經(jīng)光柵分光,將不同元素的光譜分開,通過
光譜線強度的變化確定樣品中的元素含量. ICP 采用27.12MHz 的高頻發(fā)生器,配合帕邢－龍格
一維高光通量分光系統(tǒng),采用 15 塊CCD 的檢測器及165-770nm 的*光譜響應(yīng)范圍,完成大
約70 幾種元素的快速分析.
2.2 儀器特色。
? 測定分析譜線在 190nm 以下的元素時，不需要光路系統(tǒng)預(yù)吹掃，開機即可檢測。具有專
利的充氬氣密閉循環(huán)光路系統(tǒng)；可以隨時測定S180nm, P 177nm，Al167nm 。
? 采用的分光系統(tǒng)與15 塊CCD 檢測器相結(jié)合，采用一維分光系統(tǒng)，所有分析譜線都采
用一級譜線，能量強，另外光路系統(tǒng)鏡面少且不含透鏡，光通量大，檢測靈敏度高。開機
穩(wěn)定時間短，開機就可點火，操作簡單方便，操作成本低；
? 4 秒可以實現(xiàn)全譜分析。采用多個 CCD 同時進行檢測， 每個 CCD 分別進行*化設(shè)計
且各自并聯(lián)讀出，分析速度快、無飽和現(xiàn)象；
? 線性動態(tài)范圍寬，可以達到109 通過計算機自動進行譜線切換自動擬合標準工作曲線；
? 運行操作成本低，分析速度zui快，檢測器不需低溫致冷和氬氣氣體吹掃，光路系統(tǒng)密閉充
氬測定 190nm 以下的元素譜線不需氣體吹掃，氬氣消耗比同類產(chǎn)品少一倍；儀器穩(wěn)定性
好，儀器維修維護成本少。
? 操作zui簡單，譜線選擇靈活，自動化程度好，檢測器不需低溫致冷，開機即可點火做樣；
遠紫外譜線分析不需氣體吹掃光路，不管分析190nm 以上還是190nm 以下的譜線，都可
隨時分析。所有氣流都采用質(zhì)量流量計計算機自動控制，全部分析參數(shù)包括炬管位置都是
計算機自動控制。
ICP 技術(shù)方案
? 穩(wěn)定性好, 光路系統(tǒng)和檢測器恒溫在同一溫度，光路系統(tǒng)全部密封充氬自循環(huán)，光學原件
不受環(huán)境影響；光路系統(tǒng)采用光學原件zui少，減少了故障概率。
? 固體檢測器不必致冷到零下，可以直接點火做樣，也不必對檢測器進行氣體吹掃，光學室
和檢測器恒定在相同溫度15℃，儀器的穩(wěn)定性好、使用壽命長，采用一級譜分析且光路系
統(tǒng)光學鏡面少，無透鏡，譜線強度高，檢測器噪聲可以忽略，不必通過降溫來降低檢測器
噪聲。
? 分析軟件功能強，除了定性、半定量、定量分析功能外，還可以方便地進行未分析元素的
事后補加和標準曲線的修正而不必再次做樣，對沒有標準樣品的待分析樣品可以采用標準
加入法進行分析，可以實現(xiàn)譜線自動切換等。
3 技術(shù)指標
3.1 技術(shù)參數(shù)
本儀器為帶有 ICP 激發(fā)源和半導體固態(tài)檢測器的全自動發(fā)射光譜同時檢測的全譜直讀發(fā)射光
譜儀，用于對液體樣品中各種元素的定性、半定量和定量分析。
SPI 接口技術(shù)可以分析金屬、高固態(tài)含量樣品、有機樣品或懸浮液中較高含量和主量元
素，線性范圍更寬、準確度和精確度更好。
優(yōu)化的薄層、低流速氬氣吹掃確保外光路沒有氧氣減少對UV 譜線的吸收，防止入射光學部件
的污染，確保165 －190nm 譜線范圍發(fā)射譜線的優(yōu)異的穩(wěn)定性和的靈敏度。
儀器由以下主要部分組成
? Polychromator 分光系統(tǒng)
? Detectors 15 個CCD 檢測器
? UV-System 紫外光學密封充氬循環(huán)系統(tǒng)
? Generator RF 發(fā)生器
? Sample introduction system and torch unit 進樣系統(tǒng)及炬管組件
? Spectrometer control 光譜儀控制部分
? Data processing system 數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)
? Software 軟件系統(tǒng)
各部分技術(shù)描述
Polychromator 分光系統(tǒng)
? 恒溫在 +15?C ? 0.5?C
? 帕邢－龍格羅蘭圓設(shè)計
? 焦距 750mm
ICP 技術(shù)方案
? 全息凹面原光柵
? 光柵材料
? 氟化鎂光學部件
? 全部是1 級波長覆蓋
? 波長范圍165 －770nm
? 入射狹縫 15 微米
Detector 檢測器
? 根據(jù)所在波長精心選擇并進行*化設(shè)計的 15 個線性CCD 連續(xù)排列在羅蘭圓上
? 每個CCD 的象素為3648 個
? 像素分辨率為3 皮米，光學分辨率8 皮米
? 與光學系統(tǒng)一樣恒溫在+15?C ? 0.5?C
? 并聯(lián)讀出設(shè)計
? 每個CCD 具有自己的信號處理系統(tǒng)
? 智能數(shù)據(jù)獲取和數(shù)據(jù)消除系統(tǒng)
? 動態(tài)范圍為109
? zui短積分時間小于1 毫秒
? 一次zui短測量時間為4 秒鐘（包括全譜檢測及賦值）
? 積分時間根據(jù)每個象素的信號強弱自動*化
? 全波長覆蓋
? 自動暗電流校正
? 自動波長位置標準化
? TCP/IP 通訊接口
UV System 紫外密閉充氬循環(huán)系統(tǒng)
? 的UVPlus? 紫外密閉充氬循環(huán)系統(tǒng)
? 光室充滿氬氣并*密封不需消耗吹掃氣體
? 氬氣自動凈化系統(tǒng)
RF-Generator RF 發(fā)生器
? 自激式
? 頻率為27.12MHz
? 輸出功率：0.7 ～1.7KW
? 功率穩(wěn)定性<0.1%
? 等離子體自動點火
? 低功率、低氬氣氣流的待機模式
? 全部計算機控制
? 空氣冷卻（不需附加冷卻設(shè)備）
? 固態(tài)功率發(fā)生器
