GC-9560-HG四氟化碳分析氦離子色譜儀適用于高純四氟化碳中痕量雜質(zhì)的檢測，檢測濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司的中心切割技術(shù)，進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路；整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì)，并配備進(jìn)樣壓力自動校正系統(tǒng)，保證不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。

    GC-9560-HG四氟化碳分析氦離子色譜儀適用于高純四氟化碳中H₂、O₂（Ar）、N₂、CH₄、CO、CO_2、SF₆、C₂F₆、C₃F₈等痕量雜質(zhì)的檢測，儀器配備高靈敏度的氦離子化（PDHID）檢測器，采用中心切割與反吹技術(shù)，配置具有吹掃保護(hù)氣路的進(jìn)樣切換閥和進(jìn)口氦氣純化器，通過無死體積取樣或在線進(jìn)樣方式，一次性完成高純氨中雜質(zhì)的檢測，檢測限達(dá)ppb級，重復(fù)性RSD≤1％。
      由華愛色譜承擔(dān)主要起草任務(wù)的國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 28726-2012《氣體分析 氦離子化氣相色譜法》已經(jīng)于2013年02月01日起正式公布實(shí)施。

一、適用標(biāo)準(zhǔn)：

• GB/T ××××-××××《電子工業(yè)用氣體 四氟化碳》（報(bào)批稿）
• GB/T 28726-2012《氣體分析 氦離子化氣相色譜法》

二、技術(shù)參數(shù)：

1、檢測限（ppb）：

2、溫控指標(biāo)：

•  柱    箱：室溫上8℃－400℃   精度±0.1℃
•  進(jìn) 樣 器：室溫上8℃－400℃   精度±0.1℃
•  檢 測 器：室溫上8℃－400℃   精度±0.1℃
•  溫控?cái)?shù)量：八路
•  程序升溫：八階
•  升溫速率：1℃~40℃
•  降溫速度：7分鐘以內(nèi)（350℃到50℃）

3、氦離子化檢測器（PDD）：

•  放電模式：脈沖放電
•  基線噪聲：≤0.1mv
•  基線漂移：≤0.5mv/30min
•  檢測限：≤1.0×10-10g/ml

4、載氣純化器：

•  可純化氣體：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn
•  操作壓力：1000Psi
•  去除氣體：H₂、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等
•  殘留濃度：≤10ppb

5、工作站性能:

•  通訊接口：RS232/USB接口        
•  高精度：24位的高精度A/D
•  分辨率：±1uv            
•  輸入電平范圍：-5mv至+1v
•  采樣頻率：zui高20次/秒   
•  動態(tài)范圍：106
•  積分靈敏度：1μv•sec   
•  線性度：<±0.1%。
•  重現(xiàn)性：0.06％。

6、其他參數(shù)：尺寸、重量、電源:

•  尺寸：寬655mm×高500mm×深480mm
•  重量：～48kg
•  電源：220V±22V，50Hz，功率≥2kW

三、系統(tǒng)配置：

（1）GC-9560-HG四氟化碳分析氦離子色譜儀 （2）氦離子化檢測器（PDHID）
（3）中心切割系統(tǒng)                                               （4）多柱箱系統(tǒng)
（5）氦氣純化器                                                   （6）標(biāo)準(zhǔn)氣體
（7）色譜柱                                                           （9）氧吸附與還原系統(tǒng)
（10）載氣減壓閥                                        （11）無死體積取樣閥
（12）GC-9560V4.0版反控色譜工作站

四、分析譜圖：

1、四氟化碳分析譜圖：