HPR-30過程氣體分析儀（Process Gas Analyser），適用于監(jiān)測分析殘余氣體和真空過程。可檢測反應室內(nèi)存在的所有成分，以及系統(tǒng)析出的新組分。

HPR-30過程氣體分析儀應用：

· CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD
· 真空涂覆/ 等離子蝕刻
· 濺射沉積
· 污染物研究
· 基本壓力辨別
· 泄漏探測/ 實質(zhì)上的泄漏/脫附分析
· 除氣/烘烤/泵效能
· 反應室/過程氣體污染物

HPR-30過程氣體分析儀特點：

· 簡潔的桌上型，移動推車或控制臺架結(jié)構
· Direct re-entrant流孔板，差式泵，以達到z適宜的靈敏度
· 連續(xù)取樣從1mbar至 10-4mbar.
· 高靈敏度（至5ppb），質(zhì)量數(shù)至1000amu
· 軟離子化技術，分析復雜有機物，或表觀MS研究
· 穩(wěn)定性好(24h之上，峰高變化小于±0.5%)
· MASsoft軟件控制，或由局域網(wǎng)進行多個系統(tǒng)控制
· 氣動閥自動控制；出現(xiàn)電力不足或壓力過大等不安全狀況時可啟用手動隔離裝置
· 自動、同時數(shù)據(jù)取得、分析，實時顯示、報警。