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HALO 201 MBE 殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀

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該分子束外延特定分析質(zhì)譜儀由兼容性材料組成,并能在分子束外延環(huán)境中長(zhǎng)期使用。

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  主要特點(diǎn):·鉬銅布線增加MBE環(huán)境下系統(tǒng)的壽命

·抗污染離子源護(hù)罩

·雙法拉第/ channelplate電子倍增器

                             技術(shù)規(guī)格:·質(zhì)量數(shù)范圍: 1300 amu

·掃描速度: 100amu/s

·小掃描步階:0.01amu

·靈敏度: 0.1 ppm1ppm

·穩(wěn)定性: 24h以上,峰高變化小于±0.5%

·小檢測(cè)分壓:2 x 10-13 mbar

·大工作壓力:1 x 10-4 mbar


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