光學(xué)系統(tǒng)

光學(xué)設(shè)計

*設(shè)計，色散消除功能

F/#

1/3.5

焦距

160mm

雜散光（350nm截止濾波器的鹵素?zé)簦?/span>

< 0.01%

雜散光（20nm激光譜線）

10^-7

驅(qū)動

馬達(dá)

微步進(jìn)電機

驅(qū)動

蝸桿

步長

1.62 角秒

精度

±1 步長

zui大速度

10 000步長/秒

光柵

類型

凹面刻畫光柵

刻線密度

1200 l/mm

閃耀波長

280nm

尺寸

40×40×10 mm

操作波長范圍（光柵效率>40%)

190-560nm

光學(xué)器件

線色散倒數(shù)（546nm）

6,58nm/mm

光譜分辨率（入射及中間狹縫0.22mm)

1.45nm

波長精度

±0.25nm

平均掃描步長

0.025nm

光譜狹縫

控制

手動操作

寬度

4個固定位置

入口及中間位置狹縫

0.22,0.54,1.1,1.6mm

出射狹縫

0.44,1.08,2.2,3.2mm

高度

6mm

合成快門

透光率（快門關(guān)閉）

< 0.001%

時間

100ms

zui大頻率

1Hz

控制

板載CPU 或外部TTL

尺寸電源

外觀尺寸

419×140×175mm

重量

8kg

輸入電源

100-230V,50/60Hz

功率損耗

20W

控制系統(tǒng)

內(nèi)部控制

板載CPU

外部控制

PC

通信接口

RS-232