SIMS 工作站（SIMS Workstation－a complete SIMS Analysis Facility） ，綜合UHV / SIMS 設(shè)備，進(jìn)行高級(jí)的表面分析?？煽康?、普遍適用的SIMS分析工作站。

·整合的離子源，便于RGA和SNMS

·各類型樣品的快速轉(zhuǎn)向

·陰、陽離子、中性粒子、自由基的質(zhì)量、能量分析儀

·整合的離子槍光柵控制和信號(hào)選通，進(jìn)行深度分析
·絕緣體研究中的電子流槍用于電荷中和
·液氮冷井和真空室烘烤加熱器
·自動(dòng)的SIMS 離子光學(xué)透鏡調(diào)諧和質(zhì)量數(shù)列表，使SIMS性能

Hiden EQS SIMS 分析儀，運(yùn)行于 MASsoft O/S 之下，檢測(cè)限至ppb級(jí)

·基本的激發(fā)源選擇： 帶差式泵的Hiden IG20 Ion，IFG200 FAB或高性能液態(tài)鎵槍
·快速樣品傳遞，樣品固定，負(fù)載鎖定的操縱器
·4 軸：X, Y, Z, θ UHV 操縱器，定位樣品
·加上ESM LabVIEW和SIMS 成像程序，進(jìn)行SIMS元素成像
·靜態(tài)SIMS譜圖庫可用