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全自動離子刻蝕機 MEL 3100伯東公司供應(yīng)

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公司名稱 伯東貿(mào)易（深圳）有限公司
品牌
型號
所在地 深圳市
廠商性質(zhì) 代理商
更新時間 2022/7/20 11:49:55
訪問次數(shù) 402

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動化，降低對人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動化，降低對人的依賴。

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伯東公司日本進口全自動離子刻蝕機 MEL 3100, 蝕刻速率 >10（nm/min）, 均勻性 ≤±5%, 全自動化系統(tǒng)減少人工操作, 保證產(chǎn)品高穩(wěn)定性和高質(zhì)量. 有效減少因人工操作帶來的損失！

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全自動離子刻蝕機 MEL 3100
伯東公司日本進口全自動離子刻蝕機 MEL 3100, 蝕刻速率 >10(nm/min), 均勻性 ≤±5%, 全自動化系統(tǒng)減少人工操作, 保證產(chǎn)品高穩(wěn)定性和高質(zhì)量. 有效減少因人工操作帶來的損失！

全自動離子刻蝕機 MEL 3100 特性
全自動化系統(tǒng)
清潔: 鈦用于經(jīng)常暴露于離子束的零件, 以產(chǎn)生低粒子. 晶圓輸送盒采用高效空氣過濾器.
占地面積小, 方便維護
10.4英寸觸摸屏
配置美國 KRI 考夫曼離子源和德國 Pfeiffer 分子泵.

全自動離子刻蝕機 MEL 3100 技術(shù)規(guī)格.

型號	MEL 3100
樣品數(shù)量尺寸	3”φ-6”φ,1片
晶圓輸送盒	1個, 25 片晶圓
極限真空	8x10-5 Pa
均勻性	≤±5%
蝕刻速率	>10(nm/min) @SiO2

Hakuto 日本原裝設(shè)計制造離子刻蝕機 IBE, 提供微米級刻蝕, 滿足所有材料的刻蝕, 即使對磁性材料,黃金 Au, 鉑 Pt, 合金等金屬及復(fù)合半導(dǎo)體材料, 這些難刻蝕的材料也能提供蝕刻. 可用于反應(yīng)離子刻蝕 RIE 不能很好刻蝕的材料. 自 1970年至今, Hakuto 伯東已累計交付約 500套離子蝕刻機. 蝕刻機可配置德國 Pfeiffer 渦輪分子泵和美國 KRI 考夫曼離子源!
伯東公司超過 50年的刻蝕 IBE 市場經(jīng)驗, 擁有龐大的安裝基礎(chǔ)和經(jīng)過市場驗證的刻蝕技術(shù)!

若您需要進一步的了解離子蝕刻機詳細信息, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 羅先生中國臺灣伯東: 王小姐