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離子蝕刻機 20 IBE-J

NS 離子蝕刻機 20 IBE-J
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離子蝕刻Φ4 inch X 12片

基片尺寸

Φ4 inch X 12片
φ5 inch X 10片
φ6 inch X 8片

樣品臺

直接冷卻,水冷

離子源

Φ20cm 考夫曼離子源


伯東 NS 離子蝕刻機主要優(yōu)點:
1. 干式制程的微細加工裝置, 使得在薄膜磁頭, 半導體元件, MR sensor 等領域的開發(fā)研究及量產(chǎn)得以廣泛應用.
2. 物理蝕刻的特性, 無論使用什么材料都可以用來加工, 所以各種領域都可以被廣泛應用.
3. 配置使用美國考夫曼離子源
4. 射頻角度可以任意調整, 蝕刻可以根據(jù)需要做垂直, 斜面等等加工形狀.
5. 基板直接加裝在直接冷卻裝置上, 所以可以在低溫環(huán)境下蝕刻.
6. 配置公轉自轉傳輸機構, 使得被蝕刻物可以得到比較均勻平滑的表面.
7. 機臺設計使用自動化的操作流程, 所以可以有非常友好的使用生產(chǎn)過程.

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