雙石英管∶外管直徑100mn，懸掛的內管直徑80mm，金屬箔纏繞在內管的外表面上發(fā)生cvD反應。（見下圖）

兩根爐管上安裝有真空密封法蘭，允許反應氣體在兩個管（10mm間距）之間流動，情性氣體在管內流動以進行冷卻。

· 搭載由多通道流量控制系統(tǒng)和真空泵共同組成的CVD系統(tǒng)。

爐子的底部安裝有一對滑軌，可使爐子從爐管的一側滑動到另一側，以實現(xiàn)快速加熱和快速冷卻。

·包含一個止滑夾，用于固定爐子的位置。

·最高溫度可達1100℃。

雙層殼體結構，并帶有風冷系統(tǒng)，可有效降低殼體表面溫度。

· 內爐膛表面涂有姜國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命。

開門斷電，提高實驗安全性。

最高溫度∶ 1100℃（≤30min） 工作溫度∶ 1000℃

推薦升溫速率∶≤10℃/min

加熱元件∶摻參鉬鐵鉻鋁合金

·電壓∶220

可根據(jù)需求選擇單溫區(qū)或雙溫區(qū)兩種爐膛。（雙溫區(qū)見下圖）

加熱爐額定功率∶3KW（不包括CVD系統(tǒng)）

加熱區(qū)∶400mm （單溫區(qū)），200mm*2（雙溫區(qū)）

高純石英管80mm外徑x 1800mm長

高純石英管100mm外徑x 1400mm長

鍍鉻鋼制成的雙滑軌

不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端，便于組裝

適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多種氣體的切換使用，而不會造成大氣進入加熱管。

氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實用，操作簡便。

采用觸摸屏來控制氣體的流量，顯示流量準確，方便操作。

所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸。

多通道質子流量計系統(tǒng)參數(shù)∶

輸入電壓∶ AC 2207/5OHz單相

功率∶23w

此設備可根據(jù)需求配置合適的真空泵組

·GZK-101低真空機組∶

·工作電電壓∶220v，50~60HZ

· 功率∶ 1KW

·系統(tǒng)極限真空度∶1.0*10-1Pa

·抽氣速率∶ 4.4L/ S

*103G高真空機組：

采用PID方式調節(jié)溫度，可設置30段升降溫程序

溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護

儀表控溫精度∶ +/- 1°C

熱電偶型號∶ K型

為保證使用安全該電爐為開門斷電設計

所有電氣部件均為UL認證，并可通過TV、CSA認證

CE certified

一年保修，終身技術支持。

特別提示∶ 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內