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ETD-200 金離子濺射儀(小型)

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金離子濺射儀ETD-200小型 特點:

靶(上部電極):材料:金,

直徑:64mm,厚度:0.12mm(大約)

真空室:直徑:160mm,高:120mm

樣品臺(下部電極):濺射面積:直徑:64mm,zui大放置樣品數(shù)量:16個

離子電流表:zui大電流:100mA

定時器:zui長時間:900S

zui高電壓: -1600V

電源開關(guān)

機械泵: 2升/每秒

可選:真空控制針閥

靶材可按用戶要求加工制作

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