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ETD-200 金離子濺射儀(小型)

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金離子濺射儀ETD-200小型 特點:

靶（上部電極）：材料：金，

直徑：64mm，厚度：0.12mm(大約)

真空室：直徑：160mm，高：120mm

樣品臺（下部電極）：濺射面積：直徑：64mm，zui大放置樣品數(shù)量：16個

離子電流表：zui大電流：100mA

定時器：zui長時間：900S

zui高電壓： -1600V

電源開關

機械泵: 2升/每秒

可選：真空控制針閥

靶材可按用戶要求加工制作

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