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SD-800C

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熱蒸發(fā)

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SD-800C型熱蒸發(fā)鍍膜儀把待鍍膜的基片或工件置于真空室內(nèi),通過對鍍膜材料加熱使其蒸發(fā)氣化而沉積與基體或工件表面并形成薄膜或涂層的工藝過程。

配有高位定性的飛躍真空泵


The ETD-800C type thermal evaporation coating apparatus places the substrate or workpiece on the coating in avacuum chamber and evaporates and vaporates it by heating the coating material to form a film or coating process on the

surface of the substrate or the workpiece.

Vacuum pump equipped with high quality

參數(shù)

配套泵

蒸發(fā)靶材

蒸發(fā)電流

極限真空

樣品倉尺寸

樣品臺(tái)尺寸

工作電壓

兩升飛躍泵

碳棒

*電流

100A,工作電流0-80A

4*10-2mbar

直徑

160,

高120mm

樣品臺(tái)尺寸直徑150mm

220V,

50HZ


需要鍍膜的樣品


電子束敏感的樣品 非導(dǎo)電的樣品 新材料

主要包括生物樣品,塑料樣品等。

S EM中的電子束具有較高能量,

在與樣品的相互作用過程中,

它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。

如果樣品是對電子束敏感的材料,

那這種相互作用會(huì)破壞部分

甚至整個(gè)樣品結(jié)構(gòu)。這種情況下,

用一種非電子束敏感材料制備

的表面鍍層就可以起到

保護(hù)層的作用,防止此類損傷;

由于樣品不導(dǎo)電,其表面帶有“電子陷阱”,

這種表面上的電子積累被稱為“充電”。

為了消除荷電效應(yīng),可在樣品表面鍍一

層金屬導(dǎo)電層,鍍層作為一個(gè)導(dǎo)電通道,

將充電電子從材料表面轉(zhuǎn)移走,

消除荷電效應(yīng)。在掃描電鏡成像時(shí),

濺射材料增加信噪比,

從而獲得更好的成像質(zhì)量。

非導(dǎo)電材料實(shí)驗(yàn)電極制作

觀察導(dǎo)電特性


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