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三溫區(qū)真空氣氛回轉(zhuǎn)爐CVD系統(tǒng)

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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三溫區(qū)真空氣氛回轉(zhuǎn)爐CVD系統(tǒng)特點:集三溫區(qū)真空回轉(zhuǎn)爐、三路質(zhì)量流量計系統(tǒng)及低真空機組而成一種動態(tài)狀態(tài)下的化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)。爐膛采用高純度氧化鋁微晶纖維高溫真空吸附成型。 進口加熱電阻絲鑲嵌延長爐體使用壽命,該設(shè)備容許粉末樣品在高溫狀態(tài)下動態(tài)燒結(jié)處理,配備磁流體密封裝置,使得整個設(shè)備處于真空狀態(tài)下工作。特殊樣品倉結(jié)構(gòu)設(shè)計,避免傳統(tǒng)回轉(zhuǎn)爐取樣等繁瑣操作.

詳細(xì)信息 在線詢價

三溫區(qū)真空氣氛回轉(zhuǎn)爐CVD系統(tǒng)技術(shù)參數(shù):

名稱

規(guī)格

 三溫區(qū)真空氣氛回轉(zhuǎn)爐CVD系統(tǒng)CVD1200C 900D60IIIR3ZLV

 

 

 

 

三溫區(qū)真空回轉(zhuǎn)爐

爐管尺寸

Φ60×1400mm 更多其他規(guī)格石英管可選(Φ50/60/80/100mm等)

配備特殊設(shè)計石英樣品倉,可將樣品倉整管取出,取放樣方便

主要參數(shù)

溫度: 1200℃(使用時必須通入惰性氣體以防止?fàn)t管發(fā)生形變)

 工作溫度: 1100℃

 推薦升溫速率:≤10℃/min

 加熱區(qū)長度: 300+300+300mm

 額定功率:7KW

旋轉(zhuǎn)速度:0-13轉(zhuǎn)/min

 電壓:單相AC 208 - 240V, 50Hz

爐體結(jié)構(gòu)

雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C

高純狀氧化鋁纖維絕緣層,最大限度節(jié)約能源

爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命

溫控系統(tǒng)

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)功能

 智能化30段可編程控制

 具有超溫及斷偶報警功能

 控溫精度: ±1 ℃

 K型熱電偶

 可安裝PC控制軟件對數(shù)據(jù)進行實時采集(需另購)

 

溫控儀表(可選)

標(biāo)配儀表品牌為宇電,可選擇其他品牌溫控儀表,如島電等。

管堵

多種規(guī)格管堵,防止來自內(nèi)部管子的熱輻射,管堵在加熱前必須*放入爐腔。石英管堵滿足潔凈實驗環(huán)境或者較高真空需求

密封系統(tǒng)

爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭。(包括精密針閥、指針式真空壓力表、軟管接頭)

 如需獲得較高的真空度,建議采用不銹鋼波紋管連接及數(shù)顯真空計(需另外訂購)

出氣端配備磁流體密封裝置,容許設(shè)備在連續(xù)真空條件下工作。

備注:本公司標(biāo)配法規(guī)格如下進氣端Φ6卡套接口,可連接Φ6不銹管或者聚四氟管。

出氣端預(yù)留KF25接口,方便連接真空泵,KF16接口,方便連接數(shù)顯真空計,以及Φ9氣嘴接頭,以便出氣

擴展端口

 如進氣管道為橡膠軟管,則需將進氣口更換成Φ9氣嘴接頭

真空度

雙極旋片機械泵:10^-1Pa

 分子泵機組:10^-3 Pa

可選配本公司配套高低真空

 

外形尺寸

650mm(L) ×450mm(W) × 550mm(H)

凈重

40Kg

三路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

MFC-3Z

電壓

 220VAC  單相  50/60Hz

針閥材質(zhì)

 316不銹鋼

量程

 50sccm、100sccm200sccm(可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇)

工作溫度

 545

外型尺寸

 600(L) x 600(W) x 750(H) mm

電壓

 AC220V/50Hz單相

功率

 23W

真空系統(tǒng)

LVU-10

殼體尺寸

600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm

最大承載量

1000 Lbs 

抽氣速率

10m³/h

極限真空度:10-1Pa

雙層立式油污過濾器(PE材質(zhì))與真空泵連接

質(zhì)保期

一年保修,終身技術(shù)支持。

 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

相關(guān)應(yīng)用

爐膛內(nèi)襯可以單獨更換(額外付費)

 可以根據(jù)要求設(shè)計成帶有滑動法蘭的爐子

應(yīng)用注意事項

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)

 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

 石英管的長時間使用溫度<1100℃

 對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

合肥康帕因設(shè)備技術(shù)有限公司

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手機:15395174701

聯(lián)系人:嚴(yán)秀敏

電話:86-0551-65128841

傳真:

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