系統(tǒng)名稱

1200℃單/雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)

系統(tǒng)型號

CVD-12II-3Z/G

CVD-12II6-3Z/G

溫度

1200℃

加熱區(qū)長度

420mm

600mm

恒溫區(qū)長度

280mm

390mm

溫區(qū)

雙溫區(qū)

雙溫區(qū)

石英管管徑

Φ50/Φ60/Φ80mm

Φ80/Φ100mm

額定功率

3.2Kw

4.8Kw

額定電壓

220V

溫度控制

國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)50段程序控溫；

控制精度

±1℃

爐管工作溫度

＜1200℃

氣路法蘭

密封法蘭與管件連接的地方采用多環(huán)密封技術(shù)，在密封法蘭與管外壁間形成了密封，在管件外徑誤差較大的情況下密封仍然有效，該密封法蘭的安裝只需在次使用設備的時候安裝

氣體控制方式

質(zhì)量流量計

氣路數(shù)量

3路（可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量）

流量范圍

0-500sccm(標準毫升/分，可選配）氮氣標定

精度

±1%F.S

響應時間

≤4sec

工作溫度

5-45℃

工作壓力

進氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力）

系統(tǒng)連接方式

采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數(shù)顯真空測量儀

規(guī)格

高真空

系統(tǒng)真空范圍

1x10-3Pa-1x10-1Pa

真空泵

真空分子泵理論極限真空度5x10-6Pa抽氣速度1200L/S額定電壓220V    功率2KW

真空分子泵理論極限真空度5x10-6Pa抽氣速度1600L/S額定電壓220V  功率2KW

爐體外形尺寸

340×580×555mm

480×770×605mm

系統(tǒng)外形尺寸

530x1440x750mm(不含高真空)

系統(tǒng)總重量

330kg