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OPTINO系列——多功能波前傳感器

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OPTINO系列——多功能波前傳感器



硬件技術(shù)參數(shù):

F值范圍

可檢測幾乎任何的F

可檢測的光學(xué)元件直徑(平行光)

幾乎任何直徑的光學(xué)元件(選用合適配件)

測試設(shè)置

雙或單通道

標(biāo)準(zhǔn)透鏡陣列的直徑和焦距

(0.2mm, 11mm), (0.2mm, 22mm), (0.3mm, 41mm). Others: (0.13mm, 7mm). Special

相機(jī)接口

千兆以太網(wǎng),USB2USB3

分辨率(0.2mm直徑透鏡陣列和USB3相機(jī)),9mm入瞳直徑

45x450.2mm直徑陣列);69x690.13直徑陣列)

分辨率(千兆相機(jī)透鏡陣列),15mm入瞳直徑

75x750.2mm直徑陣列);115x1150.13直徑陣列)

非球面元件測量

測量縱向球面像差15%的變化

澤尼克多項式計算RMS重復(fù)性

1-2nm rms(λ/600-λ/300)at 633nm

波前測量RMS重復(fù)性

<λ/200

準(zhǔn)確度

λ/10-λ/100(取決于校準(zhǔn)元件的準(zhǔn)確度)

子瞳動態(tài)測量范圍

±50 λ

波長范圍

UV(0.193-1.1μ),Vis(0.193-1.1μ), 0.95-1.7μ

光源

LEDSLDS,鹵素?zé)?/span>

軟件(控制和分析)

Sensoft

采樣頻率

15-500Hz(相機(jī)決定)

處理頻率

5-150Hz(相機(jī)和電腦決定)

準(zhǔn)直器步進(jìn)電機(jī)供電需求

12V/2A DC

觸發(fā)

TTL 5V


OPTINO波前傳感器整機(jī)結(jié)構(gòu)示意圖





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