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SLM 355激光器

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SLM 355激光器


SLM 355系統(tǒng)是一種單頻全固態(tài)激光器,應(yīng)用于深紫外領(lǐng)域,如光學(xué)測(cè)量、光譜儀校準(zhǔn)和全息應(yīng)用頻譜帶寬<60MHz,接近其理論的傅里葉極限。該激光器提供10-12ns的短脈沖,其衍射極限光束下M2<1.3,重復(fù)頻率1到15kHz。在波長(zhǎng)為355nm下平均功率高達(dá)2W以上, 并且擁有超穩(wěn)定的脈沖痕跡和與傳統(tǒng)激光器相比的2.5m的相干長(zhǎng)度。

由于CW模式的單頻種子源,連續(xù)的激光脈沖保持在同一相位,允許穩(wěn)定的干涉模式,所以可以應(yīng)用到直接曝光光刻上。另外2W的平均功率允許短的曝光時(shí)間,實(shí)現(xiàn)大的吞吐量。


特點(diǎn):

● 單縱模

● TEM00光束

● Q開(kāi)關(guān)全固態(tài)激光器

● 波長(zhǎng)355 nm


應(yīng)用:

○ 光譜儀校準(zhǔn)

○ 光刻

○ 全息成像

○ 干涉測(cè)量

○ 拉曼光譜

○ 度量衡學(xué)


可選項(xiàng):

○ 圖形用戶界面

○ Labview庫(kù)文件

○ CDRH符合性快門



典型參數(shù)&光斑輪廓


激光頭尺寸:



系統(tǒng)尺寸:



電學(xué)參數(shù):




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