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應(yīng)用

應(yīng)用：單元，多元及多元組合（多至四種材料）共蒸發(fā)多種材料獲得超純薄膜沉積。
技術(shù)指標(biāo)

*多種型號(hào)可選: EGN1;EGN4;EGCO4;H-PEB4

單電源供電，四種材料共蒸發(fā)下各種材料蒸發(fā)速率獨(dú)立可調(diào)。根據(jù)應(yīng)用需要，多數(shù)材料

蒸發(fā)速率可控低與0.1A/min 或高于300A/min

*高效直接水冷源體，低系統(tǒng)熱載避免環(huán)境放氣及粒子生成

*蒸發(fā)材料可為棒材或粉抹

*多元蒸發(fā)材料源體設(shè)置防交叉污染隔板及擋板，手動(dòng)和自動(dòng)控制模式可選

*實(shí)時(shí)蒸發(fā)束流的監(jiān)測和控制


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