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MTM-20 高分辨膜厚測(cè)控儀

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高分辨率膜厚測(cè)控儀的原理是:石英晶振片的振動(dòng)頻率隨其表面所沉積膜的質(zhì)量不同而變化。根據(jù)這一特性,可以通過測(cè)量石英晶振片的振動(dòng)頻率變化,以計(jì)算出沉積膜的質(zhì)量多少。再通過已知的膜密度和面積,而終精確計(jì)算出所沉積膜的厚度。

性能參數(shù):

膜厚范圍:

0.0 - 999.9nm

:

0.1nm

密度范圍:

0.50 - 30.00g/cm³

修正因子:

0.25 - 8.0

存儲(chǔ)功能:

可存儲(chǔ)4組密度和修正因子數(shù)據(jù)

鍍膜控制:

可根據(jù)所設(shè)定的膜厚要求自動(dòng)終止鍍膜過程


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