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日本electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701MkⅡ進(jìn)階

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日本electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701MkⅡ進(jìn)階
直流濺射類別中該系列中小的超緊湊機(jī)型
配備皮拉尼真空計(jì)，以確保成膜條件的可重復(fù)性
配備手動(dòng)百葉窗作為標(biāo)準(zhǔn)裝備
使用的樣品臺(tái)和載物臺(tái)可以輕松更改TS之間的距離。
由于可以涂鎢，因此也可以用于制備高分辨率SEM的樣品。

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日本electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701MkⅡ進(jìn)階

 

 

特征

  • 直流濺射類別中該系列中小的超緊湊機(jī)型
  • 配備皮拉尼真空計(jì)，以確保成膜條件的可重復(fù)性
  • 配備手動(dòng)百葉窗作為標(biāo)準(zhǔn)裝備
  • 使用的樣品臺(tái)和載物臺(tái)可以輕松更改TS之間的距離。
  • 由于可以涂鎢，因此也可以用于制備高分辨率SEM的樣品。

 

應(yīng)用/結(jié)果示例

  • 各種設(shè)備的電極膜附件
  • 用于制造反射薄膜等的應(yīng)用

 

基本規(guī)格

陰極φ2英寸直流磁控管/平板型電極
適用對(duì)象金/鉑/金-鈀/鉑-鈀/銀/鈀/鎢/鎳/鉬/鉻/鈦/鋁
壓力測(cè)量皮拉尼真空計(jì)
壓力控制針閥手動(dòng)控制
引入直徑外徑φ6mm一鍵式安裝
工藝氣體氬氣
真空泵直聯(lián)式旋轉(zhuǎn)泵：20L / min（帶自動(dòng)泄漏）
箱體尺寸內(nèi)徑φ90×D90mm（SUS制）
樣品交換方法前門開合式
尺寸（寬/深/高）機(jī)身：160/450 / 290mm RP：295.5 / 156 / 199.5mm
重量身體：9公斤RP：9公斤

深圳市秋山貿(mào)易有限公司

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