用于處理φ20mm以內(nèi)的Mila-5000系列自推出以來深受客戶的認可。隨著客戶對大尺寸樣品處理需求，Advance Riko在Mila-5000的基礎上推出可處理φ50mm樣品的MILA-5050。MILA-5050延續(xù)了MILA5000的緊湊設計，是一款集成加熱爐，加熱腔及溫控器與一體的桌面型快速退火爐。
應用
- 硅片和復合圓晶的快速退火
- 電子材料的快速熱退火，例如光學CVD的基板
- 玻璃基板，陶瓷和復合材料等的熱處理
- 熱循環(huán)測試
- 金屬材料的熱退火
- 涂膜的耐熱性評估
- 有機材料和樹脂的加熱和干燥
特點
- 可對φ50mm以內(nèi)的樣品進行熱處理
- 熱處理溫度1200℃
- 集成加熱爐，加熱腔及溫控器與一體的桌面型設計
- 搭配水冷循環(huán)腔體，可進行潔凈的快速升降溫。
- 通過USB連接，可將溫控程序輸入到電腦
- 加熱過程中可通過電腦監(jiān)測溫度數(shù)據(jù)；
參數(shù)
| 控溫范圍 | RT ～ 1200 °C |
|---|---|
| 升溫速率 | 50 °C/s |
| 樣品尺寸 | □ 50 or φ 50 × t 2 (mm) |
| 氣氛 | 真空，流動氣氛 |
* 可選配件：真空泵
* 加熱溫度or升溫速率根據(jù)被加熱樣品的紅外反射率，吸收率，熱容和材料而變化。
均勻性測試
- ① 500℃,Δt = 3.2℃
- ② 800℃,Δt = 0.6℃
- ③ 1000℃,Δt = 4.2℃
- ④ 1200℃,Δt = 2.6℃
樣品安裝（2英寸樣品）
可選配件：SiC包覆的石墨樣品臺 , 石英樣品支架
安裝需求
| 電源 | AC200V , 5kW |
|---|---|
| 冷卻水 | 流速≥ 6L/minn 水壓≥0.3Mpa |
| 外形尺寸 | 450(W) x 492(D) x 219(H) mm （不包含突出部分） |
| 重量 | 約 24kg |
