產(chǎn)品型號(hào)

1700℃三溫區(qū)高溫真空管式爐GSL-1700X-Ⅲ

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺(tái)：尺寸1200mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、雙層殼體，爐膛采用高純氧化鋁纖維，設(shè)有風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體表面溫度<60℃。

2、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，同時(shí)延長(zhǎng)使用壽命。

3、PID控制器，每個(gè)溫區(qū)可獨(dú)立控制，可以設(shè)置30段升降溫程序，設(shè)有過(guò)熱和斷偶報(bào)警功能。

4、已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：AC 220V  50Hz/60Hz  9KW（需75A的空氣開關(guān)）

2、氧化鋁管：外徑Ø60mm，內(nèi)徑Ø54mm，長(zhǎng)1200mm

3、加熱元件：溫區(qū)I4根U型硅碳棒，溫區(qū)II6根U型硅鉬棒，溫區(qū)III4根U型硅碳棒

4、加熱區(qū)域：總長(zhǎng)630mm，溫區(qū)I長(zhǎng)190mm，溫區(qū)II長(zhǎng)250mm，溫區(qū)III長(zhǎng)190mm

5、工作溫度：800℃-1400℃（溫區(qū)I），800℃-1700℃（溫區(qū)II），800℃-1400℃（溫區(qū)III）

6、大升溫速率：20℃/min（溫區(qū)I），10℃/min（溫區(qū)II），20℃/min（溫區(qū)III）

7、控溫精度：±1℃

8、熱電偶：1個(gè)B型，2個(gè)S型

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：860mm×460mm×720mm；重量：150kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

氧化鋁管

1根

2

不銹鋼法蘭

1套

可選配件

1、KF25轉(zhuǎn)接頭

2、VCR雙卡套接頭

3、波紋管

4、防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)

5、鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm