• 測(cè)量范圍為X150mm / Y150mm / Z100mm（可根據(jù)規(guī)格擴(kuò)大）
• 使用3軸執(zhí)行器機(jī)器人，可以實(shí)現(xiàn)10 um的控制分辨率和20 um或更小的位置再現(xiàn)性的高精度控制。
• 由于各軸的傳感器使用3軸孔探頭自動(dòng)校正同一坐標(biāo)點(diǎn)處的磁場(chǎng)測(cè)量值，因此可以根據(jù)理論獲得結(jié)果值。
• 探針和工件之間的間隙調(diào)整是自動(dòng)進(jìn)行的，可實(shí)現(xiàn)50 um或更小的重現(xiàn)性。操作員沒有間隙調(diào)整錯(cuò)誤。
• 孔探針的內(nèi)部芯片的檢測(cè)位置調(diào)整是自動(dòng)的，并且可獲得50um或更小的重現(xiàn)性。
• 控制程序大量使用GUI，無需手冊(cè)即可直觀地進(jìn)行操作。
• 數(shù)據(jù)可視化應(yīng)用程序（3D Magnetic Viewer）使創(chuàng)建報(bào)告變得容易。
  （由于僅出售可視化軟件（3D Magnetic Viewer），因此可以將其用于其他PC上的數(shù)據(jù)處理和演示。）

控制應(yīng)用

數(shù)據(jù)可視化應(yīng)用