品型號(hào)

1400℃三溫區(qū)真空氣氛管式爐GSL-1400X-Ⅲ

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺(tái)：尺寸1200mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、雙層殼體，爐膛采用高純氧化鋁纖維，真空吸附一次成型。

2、高密度硅碳棒，真空擠壓成型。

3、密封法蘭，可通入氣氛抽真空。

4、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：三相AC380V，50Hz  大6KW

2、剛玉管：Ø60mm×1000mm，Ø80mm×1000mm

3、加熱元件：硅碳棒

4、熱電偶：S型

5、工作溫度：1300°C（1400℃<30min）

6、控溫精度：±1℃

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：1350L×470W×750H ；重量：150kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

剛玉（氧化鋁）管

1根

2

氧化鋁管堵

4個(gè)

3

熱電偶（S型）

1個(gè)

4

不銹鋼法蘭

1套

5

硅膠密封圈

6個(gè)

6

高溫手套

1雙

可選配件

1、PC機(jī)控制軟件及通訊模塊

2、數(shù)字真空計(jì)

3、剛玉管、石英管

4、氧化鋁坩堝、石英坩堝

5、坩堝鉗

6、高真空系統(tǒng)

7、供氣混氣系統(tǒng)

8、雙級(jí)旋片真空泵