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半導(dǎo)體蝕刻系統(tǒng)9000系列

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱(chēng) 日立高新技術(shù)（上海）國(guó)際貿(mào)易有限公司北京分公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì) 其他
更新時(shí)間 2021/2/26 21:14:46
訪問(wèn)次數(shù) 369

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴(lài)度；傳統(tǒng)的塑膠模具開(kāi)模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開(kāi)模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴(lài)。

20納米世代后的裝置對(duì)精度和工藝要求非常高，如雙重圖案和3D構(gòu)造，以及針對(duì)新材料相對(duì)應(yīng)的高精密度復(fù)雜制程要求，包含后道處理和形成保護(hù)膜等。為了對(duì)應(yīng)這類(lèi)下一代器件工藝，半導(dǎo)體蝕刻裝置9000系列統(tǒng)一了接口并且能夠搭載高精度模塊化的各種腔室，從而實(shí)現(xiàn)了對(duì)器件的擴(kuò)展性和柔軟性的工藝。

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半導(dǎo)體蝕刻系統(tǒng)9000系列

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半導(dǎo)體蝕刻系統(tǒng)9000系列

特長(zhǎng)
規(guī)格

特長(zhǎng)

新的9000系列的串接式平臺(tái)，其模組腔室設(shè)計(jì)，可以提供制程使用的彈性以及未來(lái)的擴(kuò)充性。
有助于順利過(guò)渡到未來(lái)450mm晶圓用設(shè)備的平臺(tái)和用戶(hù)界面標(biāo)準(zhǔn)化整合。
9000系列平臺(tái)采用了日立成熟的微波ECR（Electron Cyclotron Resonance）等離子體蝕刻腔室，已經(jīng)過(guò)大批量生產(chǎn)的考驗(yàn)。