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專門為電子束敏感樣品和需大300萬倍穩(wěn)定觀察的*半導(dǎo)體器件，高分辨成像所設(shè)計(jì)。

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特點(diǎn)

  • 新的電子槍和電子光學(xué)設(shè)計(jì)提高了低加速電壓性能。
    0.4 nm / 30 kV (SE)
    1.2 nm / 1 kV (SE)
    0.34 nm / 30 kV (STEM)
  • 用改良的高真空性能和*的電子束穩(wěn)定性來實(shí)現(xiàn)高效率截面觀察。
  • 采用全新設(shè)計(jì)的Super E x B能量過濾技術(shù)，高效，靈活地收集SE / BSE/ STEM信號。

關(guān)聯(lián)產(chǎn)品分類

  • 聚焦離子束系統(tǒng) (FIB/FIB-SEM)
  • TEM/SEM樣品前處理裝置


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